[發明專利]一種制備光纖預制棒的多噴燈沉積方法

有效

• 申請號: 201810509968.5
• 申請日: 2018-05-24
• 公開（公告）號: CN108395092B
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 李應;陳海斌;陳劍;李慶國;蘭興玲;陳強;李秀鵬
• 申請（專利權）人: 成都富通光通信技術有限公司
• 主分類號: C03B37/014
• 分類號: C03B37/014
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王學強;羅滿

1.一種制備光纖預制棒的多噴燈沉積方法，其特征在于，若干個噴燈沿著靶棒（a）的軸向按均勻間距排列，噴燈數量為N，N≥2，L為靶棒（a）的沉積區長度，相鄰噴燈的間距為L/N，所有噴燈的噴射方向與靶棒（a）的軸向保持相同的傾角；

噴燈內通入SiCl₄、H₂、O₂進行水解反應生成SiO₂顆粒噴附到旋轉的靶棒（a）上，靶棒（a）上沉積的松散體外徑增加達到設定值時，靶棒（a）在牽引機構的帶動下沿靶棒（a）軸向單向移動一段距離后停止，靶棒（a）沿其軸向移動的方向為朝噴燈噴口偏向的一端移動，由此完成一個沉積過程單元，重復上述沉積過程單元直至靶棒（a）的沉積區形成連續均勻外徑的松散體；

在靶棒（a）側邊距離靶棒（a）軸心R處設置用于檢測外徑的激光束裝置（d），R為在靶棒（a）表面的松散體所需達到的外徑設定值；靶棒（a）上沉積的松散體外徑增加至阻擋激光束裝置（d）時，靶棒（a）在牽引機構的帶動下沿靶棒（a）軸向并朝噴燈傾斜方向一側進行單向移動至激光束裝置（d）露出時停止，重復上述過程直至靶棒（a）沉積區形成連續均勻外徑的松散體。

2.根據權利要求1所述的制備光纖預制棒的多噴燈沉積方法，其特征在于，所述的噴燈內通入的SiCl₄、H₂、O₂流量在沉積過程的起始階段逐步增加，同時靶棒（a）在牽引機構的帶動下沿靶棒（a）軸向并朝噴燈噴口偏向的一端移動，此過程在靶棒（a）上形成松散體的起頭斜面過度區（c），然后再重復進行沉積過程單元直至靶棒（a）的沉積區形成連續均勻外徑松散體。

3.根據權利要求2所述的制備光纖預制棒的多噴燈沉積方法，其特征在于，在完成起頭斜面過度區（c）后，以噴燈內通入的SiCl₄、H₂、O₂流量維持恒定值的狀態重復進行沉積過程單元。

4.根據權利要求3所述的制備光纖預制棒的多噴燈沉積方法，其特征在于，在靶棒（a）移動至前一個噴燈接觸到后一個噴燈形成的起頭斜面過度區（c）時，最末端的噴燈關閉氣體供應。

5.根據權利要求4所述的制備光纖預制棒的多噴燈沉積方法，其特征在于，在靶棒（a）移動至前一個噴燈接觸到后一個噴燈形成的起頭斜面過度區（c）時，繼續維持噴燈內通入的SiCl₄、H₂、O₂流量不變并重復進行沉積過程單元直到后一個噴燈形成的起頭斜面過度區（c）的最前端處松散體外徑達到設定值為止。

6.根據權利要求5所述的制備光纖預制棒的多噴燈沉積方法，其特征在于，在后一個噴燈形成的起頭斜面過度區（c）的最前端處松散體外徑達到設定值后，逐步降低噴燈內通入的SiCl₄、H₂、O₂流量并重復進行沉積過程單元直至靶棒（a）的沉積區形成連續均勻外徑松散體。

7.根據權利要求1所述的制備光纖預制棒的多噴燈沉積方法，其特征在于，所述的激光束裝置（d）僅設置有一個。

8.根據權利要求1所述的制備光纖預制棒的多噴燈沉積方法，其特征在于，所述激光束裝置（d）包括激光發射端（d1）和用于接收激光發射端（d1）發出的激光束的激光接收端（d2）。

9.根據權利要求1所述的制備光纖預制棒的多噴燈沉積方法，其特征在于，所述噴燈的噴射方向與靶棒（a）的軸向呈25~40°。