[發明專利]真空排氣裝置、真空泵及真空閥

有效

• 申請號: 201810509862.5
• 申請日: 2018-05-24
• 公開（公告）號: CN108930656B
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發明（設計）人: 武田直也
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D27/00;F04D29/00
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種真空閥，其特征在于包括：閥吸氣口凸緣，設置于閥體；

閥排氣口凸緣，設置于所述閥體且與所述閥吸氣口凸緣相比開口徑大，并連接于真空泵；

閥板，設置于所述閥體內且與所述閥吸氣口凸緣的開口徑對應；

閥驅動部，使所述閥板在配置于所述閥吸氣口凸緣的中心軸上的關閉位置與自所述中心軸上退避的打開位置之間滑動驅動；以及

氣體流路區域，設置于所述閥體內且包含所述閥排氣口凸緣的開口且流路剖面積發生變化，并且

所述氣體流路區域將上游側區域端的流路剖面積設定為所述閥吸氣口凸緣的開口剖面積，且以越臨近所述閥排氣口凸緣的開口，流路剖面積越增加的方式，使所述氣體流路區域的壁面形成為錐面。

2.根據權利要求1所述的真空閥，其特征在于：

所述閥吸氣口凸緣的開口與所述閥排氣口凸緣的開口形成于同一軸。

3.根據權利要求2所述的真空閥，其特征在于：

所述閥體具有設置有所述閥吸氣口凸緣及所述閥排氣口凸緣的第1主體部、以及設置有所述打開位置的所述閥板的退避區域的第2主體部，并且

所述第1主體部中，位于與所述第2主體部相反的一側的側壁將所述閥吸氣口凸緣的中心軸至所述側壁的距離設定為所述閥吸氣口凸緣的凸緣外徑的1/2以上且所述閥排氣口凸緣的凸緣外徑的1/2以下的范圍內的規定值。

4.一種真空排氣裝置，其特征在于包括：根據權利要求1至3中任一項所述的真空閥、以及

將泵吸氣口凸緣螺栓固定于所述閥排氣口凸緣的真空泵。

5.根據權利要求4所述的真空排氣裝置，其特征在于：

將所述泵吸氣口凸緣螺栓固定于所述閥排氣口凸緣的多個螺栓偏在配置于所述泵吸氣口凸緣的整周內的規定角度區域中，

所述泵吸氣口凸緣及所述閥排氣口凸緣將凸緣中心軸至凸緣外徑側端部的距離在所述規定角度區域以外的角度區域中設定為小于所述規定角度區域。

6.根據權利要求5所述的真空排氣裝置，其特征在于：

所述閥驅動部以靠近所述泵吸氣口凸緣及所述閥排氣口凸緣中的所述規定角度區域的凸緣側壁的方式固定于所述閥體。

7.根據權利要求5或6所述的真空排氣裝置，其特征在于：

包括卡合構件，所述卡合構件具有卡合于所述閥排氣口凸緣的第1卡合部與卡合于所述泵吸氣口凸緣的第2卡合部，且抑制所述泵吸氣口凸緣的周向的移動。

8.根據權利要求5或6所述的真空排氣裝置，其特征在于：

所述泵吸氣口凸緣包括與所述閥排氣口凸緣卡合而抑制所述泵吸氣口凸緣的周向的移動的卡合部。

9.根據權利要求5或6所述的真空排氣裝置，其特征在于：

在所述泵吸氣口凸緣包括與所述閥排氣口凸緣嵌合而抑制所述泵吸氣口凸緣的徑向的變形的嵌合部。

10.根據權利要求9所述的真空排氣裝置，其特征在于：

所述嵌合部設置于所述泵吸氣口凸緣的整周內的除了所述規定角度區域以外的區域中。

11.一種真空泵，其特征在于：在根據權利要求5至10中任一項所述的真空排氣裝置中使用。

12.一種真空閥，其特征在于：在根據權利要求5至10中任一項所述的真空排氣裝置中使用。