[發(fā)明專利]一種多晶硅片清洗專用架在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810506124.5 | 申請日： | 2018-05-24 |
| 公開（公告）號： | CN108421765A | 公開（公告）日： | 2018-08-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 汪偉華 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江羿陽太陽能科技有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/06 | 分類號： | B08B3/06;B08B3/08;H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 杭州賽科專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33230 | 代理人： | 陳俊波 |
| 地址： | 313299 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 多晶硅片 半筒 清洗 立柱 活動半 清洗筒 清洗液 專用架 滑軌 空間利用率 充分接觸 分隔作用 活動連接 金屬波紋 立式結(jié)構(gòu) 立體旋轉(zhuǎn) 底面 翻邊 外翻 沖刷 穿過 保證 | ||
1.一種多晶硅片清洗專用架，包括清洗筒總體(1)、固定半筒(2)和活動半筒(5)，其特征在于：所述清洗筒總體(1)由固定半筒(2)和活動半筒(5)組成，所述固定半筒(2)的底面固設(shè)有第二立柱(12)和第一立柱(7)，所述第二立柱(12)與第一立柱(7)之間通過滑軌(8)固定連接，所述活動半筒(5)的底部穿過滑軌(8)與固定半筒(2)活動連接，所述固定半筒(2)的頂端設(shè)有向外翻折的翻邊(21)，且固定半筒(2)的兩側(cè)分別設(shè)有第一外折邊(22)和第二外折邊(23)，所述活動半筒(5)的兩側(cè)分別設(shè)有第一內(nèi)折邊(51)和第二內(nèi)折邊(52)，所述第二內(nèi)折邊(52)與第二外折邊(23)的內(nèi)翻折面銜接，所述第一內(nèi)折邊(51)與第一外折邊(22)的外翻折面銜接，所述固定半筒(2)的內(nèi)壁上安裝有兩個安裝片(3)，兩個所述安裝片(3)分別安裝在固定半筒(2)內(nèi)壁的頂部和底部，且兩個所述安裝片(3)之間安裝有導(dǎo)軌(13)，所述導(dǎo)軌(13)上套設(shè)有若干個金屬波紋網(wǎng)(4)，所述金屬波紋網(wǎng)(4)的上方放置有多晶硅片(11)，所述固定半筒(2)底部的圓心處安裝有軸承(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片清洗專用架，其特征在于，所述固定半筒(2)和活動半筒(5)均采用304不銹鋼材質(zhì)制成，且固定半筒(2)和活動半筒(5)的筒體部分均布有網(wǎng)孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片清洗專用架，其特征在于，所述導(dǎo)軌(8)沿著固定半筒(2)的圓周延伸，所述導(dǎo)軌(8)的總長度小于等于固定半筒(2)圓周長度的四分之三。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片清洗專用架，其特征在于，所述翻邊(21)上安裝有吊環(huán)(6)，所述吊環(huán)(6)共設(shè)有兩個。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片清洗專用架，其特征在于，所述第二內(nèi)折邊(52)和第一內(nèi)折邊(51)分別與第二外折邊(23)和第一外折邊(22)均通過螺栓固定在一起，所述螺栓的數(shù)量大于等于2。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片清洗專用架，其特征在于，所述導(dǎo)軌(13)上設(shè)有若干個緩沖彈簧(10)，所述緩沖彈簧(10)設(shè)置在上下相鄰兩個金屬波紋網(wǎng)(4)之間。
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