[發(fā)明專利]并行測(cè)試結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810494223.6
• 申請(qǐng)日: 2018-05-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109427603B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-05-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈添;A·庫(kù)馬爾;宋云成;K·B·耶普;R·G·小菲利皮;曹琳珺;S·喬伊;C·J·克里斯琴森;P·R·朱斯蒂孫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 格芯(美國(guó))集成電路科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 北京戈程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽(yáng)

1.一種用于并行測(cè)試在集成電路芯片上的半導(dǎo)體裝置的裝置，包括：

電壓源，與包含被測(cè)裝置的集成電路連接，該電壓源通過(guò)在該被測(cè)裝置上執(zhí)行時(shí)間相關(guān)介電擊穿測(cè)試以向包含該被測(cè)裝置的該集成電路提供測(cè)試電壓；

電流測(cè)量裝置，測(cè)量該被測(cè)裝置的漏電流；

解碼器，與該被測(cè)裝置連接，該解碼器選擇性將各被測(cè)裝置連接至該電流測(cè)量裝置；

電子熔絲，各該電子熔絲與該被測(cè)裝置中不同的一個(gè)連接，當(dāng)相應(yīng)被測(cè)裝置失效時(shí)，該電子熔絲將各該被測(cè)裝置與該電壓源單獨(dú)電性斷開(kāi)；

電阻器，各該電阻器與該電子熔絲中不同的一個(gè)連接，在該時(shí)間相關(guān)介電擊穿測(cè)試的應(yīng)力條件下，該電阻器提供至地的低電阻路徑；以及

保護(hù)電路，連接于該電子熔絲與接地之間，當(dāng)該被測(cè)裝置失效時(shí)，各保護(hù)電路在該解碼器周圍提供至地的電性路徑，其中，該電性路徑引導(dǎo)電流離開(kāi)該電壓源以保護(hù)該電壓源。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，該解碼器與該被測(cè)裝置位于相同集成電路芯片上。

3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，該解碼器順序選擇各被測(cè)裝置以測(cè)量漏電流且該電流測(cè)量裝置單獨(dú)測(cè)量各被測(cè)裝置的漏電流。

4.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，該電子熔絲及該電阻器的至少其中之一與該被測(cè)裝置位于相同集成電路芯片上。

5.如權(quán)利要求1所述的裝置，還包括：

通道晶體管，連接于該電子熔絲與該電流測(cè)量裝置之間，其中，該解碼器通過(guò)開(kāi)啟各通道晶體管順序選擇各被測(cè)裝置以測(cè)量漏電流，以及其中，當(dāng)開(kāi)啟該通道晶體管時(shí)，該電阻器經(jīng)設(shè)置以迫使電流流經(jīng)該電流測(cè)量裝置。

6.如權(quán)利要求1所述的裝置，該保護(hù)電路還包括靜電放電二極管。

7.一種用于并行測(cè)試在集成電路芯片上的半導(dǎo)體裝置的電路，包括：

電壓源；

電流測(cè)量裝置；

被測(cè)裝置，與該電壓源連接；

通道晶體管，連接于各被測(cè)裝置與該電流測(cè)量裝置之間；

解碼器，向各通道晶體管選擇性提供通過(guò)信號(hào)，該解碼器選擇一供測(cè)試的裝置，其中，該解碼器通過(guò)開(kāi)啟各通道晶體管順序選擇各供測(cè)試的裝置以利用該電流測(cè)量裝置測(cè)量漏電流；

電子熔絲，各該電子熔絲在被測(cè)裝置與相應(yīng)通道晶體管之間與該被測(cè)裝置中不同的一個(gè)連接，當(dāng)相應(yīng)被測(cè)裝置失效時(shí)，該電子熔絲將該被測(cè)裝置的電路與該電壓源斷開(kāi)；

電阻器，各該電阻器與該電子熔絲中不同的一個(gè)連接，該電阻器在時(shí)間相關(guān)介電擊穿測(cè)試的應(yīng)力條件下提供至地的低電阻路徑并在開(kāi)啟該通道晶體管時(shí)迫使電流流經(jīng)該電流測(cè)量裝置；以及

保護(hù)電路，連接于該電子熔絲與接地之間，當(dāng)該被測(cè)裝置失效時(shí)，各保護(hù)電路將該解碼器與該被測(cè)裝置電性隔離。

8.如權(quán)利要求7所述的電路，其中，該解碼器與該被測(cè)裝置位于相同集成電路芯片上。

9.如權(quán)利要求7所述的電路，其中，該解碼器產(chǎn)生信號(hào)以單獨(dú)選擇各被測(cè)裝置。

10.如權(quán)利要求9所述的電路，其中，該解碼器順序選擇各供測(cè)試的裝置以測(cè)量漏電流并略過(guò)已知的失效裝置。

11.如權(quán)利要求7所述的電路，其中，該電子熔絲及該電阻器的至少其中之一與該被測(cè)裝置位于相同集成電路芯片上。

12.如權(quán)利要求7所述的電路，該電流測(cè)量裝置測(cè)量該被測(cè)裝置的漏電流。

13.如權(quán)利要求7所述的電路，該保護(hù)電路還包括靜電放電二極管。