[發明專利]混合間隔件多光譜濾光器

有效

• 申請號: 201810494139.4
• 申請日: 2018-05-22
• 公開（公告）號: CN108931831B
• 公開（公告）日: 2023-08-18
• 發明（設計）人: J.斯威策三世;G.J.奧肯富斯
• 申請（專利權）人: 唯亞威通訊技術有限公司
• 主分類號: G02B5/20
• 分類號: G02B5/20
• 代理公司: 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262
• 代理人: 張瑞;楊明釗

光學濾光器可以包括第一鏡、第二鏡以及設置在第一鏡與第二鏡之間的間隔件層結構。間隔件層結構可以包括第一組層。第一組層中的每個層可以是與第一折射率和大于層厚度閾值的厚度相關聯的第一材料。間隔件層結構可以包括第二組層。第二組層中的每個層可以是與第二折射率相關聯的第二材料。可以選擇第二組中的每個層來替換第一材料的對應層。對應層可以與小于層厚度閾值的厚度相關聯。

背景技術

多光譜傳感器裝置可以用于捕獲信息。例如，多光譜傳感器裝置可以捕獲與一組電磁頻率相關的信息。多光譜傳感器裝置可以包括捕獲信息的一組傳感器元件(例如，光學傳感器、光譜傳感器、和/或圖像傳感器)。例如，傳感器元件的陣列可以用于捕獲與多個頻率相關的信息。傳感器元件陣列的特定傳感器元件可以與限制針對特定傳感器元件的頻率范圍的濾光器相關聯。

發明內容

根據一些可能的實現方式，光學濾光器可以包括第一鏡、第二鏡以及設置在第一鏡與第二鏡之間的間隔件層結構。間隔件層結構可以包括第一組層。第一組層中的每個層可以是與第一折射率和大于層厚度閾值的厚度相關聯的第一材料。間隔件層結構可以包括第二組層。第二組層中的每個層可以是與第二折射率相關聯的第二材料。可以選擇第二組中的每個層來替換第一材料的對應層。對應層可以與小于層厚度閾值的厚度相關聯。

根據一些可能的實現方式，多光譜濾光器可以包括沉積在與一組傳感器元件相關聯的襯底上的第一鏡，以從光源部分地反射光。多光譜濾光器可以包括第二鏡，以從光源部分地反射光。多光譜濾光器可以包括間隔件，該間隔件設置在第一鏡和第二鏡之間并且包括與對應于一組傳感器元件的多個信道相關聯的多個層。多個層中的第一一個或多個層可以是具有第一折射率的氫化硅。第一一個或多個層中的每一個可以與大于層厚度閾值的厚度相關聯。多個層中的第二一個或多個層可以與具有第二折射率的材料相關聯。

根據一些可能的實施方式，光學濾光器可以包括襯底。光學濾光器可以包括設置到襯底上的一組光學濾光器層。一組光學濾光器層可以包括光學濾光器層的與第一折射率相關聯的第一子集。一組光學濾光器層可以包括光學濾光器層的與比第一折射率更小的第二折射率相關聯的第二子集。一組光學濾光器層可以形成多個信道。每個信道可以關聯于在對應的中心波長處傳遞光。每個中心波長可以與相鄰的中心波長分開小于閾值信道分離的距離。

附圖說明

圖1是本文所描述的示例實現方式的概要圖；

圖2A-2D是與本文所描述的多光譜濾光器相關的特性圖；

圖3A-3D是與本文所描述的多光譜濾光器相關的特性圖；

圖4A-4E是與本文所描述的多光譜濾光器相關的特性圖；

圖5A和5B是與本文所描述的多光譜濾光器相關的特性圖；以及

圖6A-6D是與本文所描述的多光譜濾光器相關的特性圖。

具體實施方式

示例實現方式的以下詳細描述參考附圖。不同附圖中的相同附圖標記可以標識相同或相似的元件。

傳感器元件(例如，光學傳感器)可以合并到光學傳感器裝置中，以獲得關于一組電磁頻率的信息。例如，光學傳感器裝置可以包括可以進行光的傳感器測量的圖像傳感器、多光譜傳感器等。光學傳感器裝置可以利用一個或多個傳感器技術，諸如互補金屬-氧化物-半導體(CMOS)技術、電荷耦合裝置(CCD)技術等。光學傳感器裝置可以包括多個傳感器元件(例如，傳感器元件的陣列)，該多個傳感器元件中的每一個配置為獲得信息。