[發明專利]蒸鍍遮罩的制造方法及有機發光材料的蒸鍍方法

在審

• 申請號: 201810491110.0
• 申請日: 2018-05-21
• 公開（公告）號: CN110512172A
• 公開（公告）日: 2019-11-29
• 發明（設計）人: 陳英杰;水野康宏
• 申請（專利權）人: 鴻富錦精密工業(深圳)有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 44334 深圳市賽恩倍吉知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉永輝;徐麗<國際申請>=<國際公布>=

本發明提供一種蒸鍍遮罩的制造方法，包括：提供一基體，所述基體包括塑料膜；將靜電保護膜設置于所述塑料膜的一表面；將結合有所述靜電保護膜的基體施加張力并固定在一框架上；蝕刻所述塑料膜，在所述塑料膜上形成至少一個開口；去除所述靜電保護膜，形成蒸鍍遮罩。本發明的蒸鍍遮罩的制造過程中不僅可以防止水汽和防止刮傷，在蝕刻形成開口的過程中，更好地避免基體的移動，并且能夠帶走蝕刻過程中的顆粒(碎片)，以此制造的顯示面板效果更優。

技術領域

本發明涉及一種蒸鍍遮罩的制造方法及有機發光材料的蒸鍍方法。

背景技術

目前的有機電致發光顯示(OLED)的顯示面板通過在基板上蒸鍍有機發光材料以將有機發光材料形成在基板上。蒸鍍過程中使用的蒸鍍遮罩的基體一般選用金屬材質，蒸鍍時藉由一磁鐵將基板與蒸鍍遮罩緊密接合，蒸鍍遮罩上之遮罩圖案通常藉由蝕刻方式進行加工。然，由于在金屬材質上加工圖案的精細程度較難控制，易造成因控制不良而導致后續蒸鍍工藝中的精度不良。因此,業界改用塑料材質作為蒸鍍遮罩的基體，以滿足對加工圖案精細化的要求。

在制作使用塑料材質的基體的蒸鍍遮罩的過程中，塑膠材質的基體利用金屬框架支撐，但在激光(laser)加工時，常常發生因基體與金屬框架貼合對位不良，圖案化過程中容易造成基體的開口產生毛邊(bari)及碳化物質堆積產生顆粒(碎片)，毛邊有時會遮蔽顯示面板的像素區域，造成在蒸鍍過程中像素的部分區域存在沒有鍍上有機發光材料的情況，即缺鍍的現象，而使像素因缺鍍而無法發光，而形成黑點缺陷(dark spot defect)。而且毛邊還會造成蒸鍍遮罩與基板貼合時產生間隙，進而導致蒸鍍形成的有機發光材料圖案的實際尺寸大于預設尺寸(shadow effect，陰影效應)，使混色的風險變大，而碳化物質堆積所產生的顆粒(碎片)則會造成OLED顯示面板的亮度不均勻(mura)現象。另外，蒸鍍遮罩的制造過程中，常常會因水分吸收導致蒸鍍遮罩的使用耐久度的降低，或者因表面劃傷而降低后續蒸鍍工藝質量。

發明內容

鑒于此，有必要提供一種能夠優化蒸鍍遮罩性能的蒸鍍遮罩的制造方法。進一步地，也有必要提供一種有機發光材料的蒸鍍方法。

一種蒸鍍遮罩的制造方法，包括：

提供一基體，所述基體包括一塑料膜；

所述基體結合有靜電保護膜；

將結合有所述靜電保護膜的基體固定于一框架以支撐所述基體,所述靜電保護膜貼附于所述基體遠離和靠近所述框架的表面中的至少一個；

蝕刻所述塑料膜以形成貫穿所述塑料膜的多個開口；

去除所述靜電保護膜，所述基體和所述框架配合形成蒸鍍遮罩。

一種有機發光材料的蒸鍍方法，包括：

提供使用上述蒸鍍遮罩的制造方法制成的蒸鍍遮罩；

提供一基板，所述基板設置于所述蒸鍍遮罩的基體的一表面；

提供一蒸鍍源，所述蒸鍍源位于所述基體遠離基板的一側；

加熱所述蒸鍍源，所述蒸鍍源經加熱后,蒸鍍源中的蒸鍍材料汽化并穿過所述蒸鍍遮罩的多個開口沉積在所述基板上形成有機發光材料層。

一種有機發光材料的蒸鍍方法，包括：

使用上述的蒸鍍遮罩的制造方法制造蒸鍍遮罩；

提供一基板，所述基板設置于所述蒸鍍遮罩的基體的一表面；

提供一蒸鍍源，所述蒸鍍源位于所述基體遠離基板的一側；

加熱所述蒸鍍源，所述蒸鍍源經加熱后,蒸鍍源中的蒸鍍材料汽化并穿過所述蒸鍍遮罩的多個開口沉積在所述基板上形成有機發光材料層。