[發明專利]一種圓臺形冷卻夾套的甲硅烷熱分解爐

在審

• 申請號: 201810484924.1
• 申請日: 2018-05-20
• 公開（公告）號: CN108394904A
• 公開（公告）日: 2018-08-14
• 發明（設計）人: 沈劍
• 申請（專利權）人: 寧波工程學院
• 主分類號: C01B33/029
• 分類號: C01B33/029;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種圓臺形冷卻夾套的甲硅烷熱分解爐，其特征在于所述的熱分解爐由鐘罩、底板、氣體進出管、石墨電極、圓臺形冷卻夾套和硅棒構成；所述的鐘罩為帶有冷卻水夾套的雙層結構，其下部為圓筒型上部為橢圓形型；所述的底板為帶冷卻水夾套的雙層結構，為圓盤形；所述的鐘罩扣在底板上所形成的內部腔體即為甲硅烷熱分解爐腔體；所述的氣體進出管由尾氣收集口、內管和套管構成，所述的尾氣收集口呈圓臺形，一端為大口，另一端為小口，所述的尾氣收集口的小口與內管的上端連通，大口為氣體收集口；所述的套管套在內管外，且兩者的中心軸重合，所述的內管的上端伸出套管上端的距離為H3、下端伸出套管的下端為尾氣出口；所述的套管的上端與內管之間的環隙封閉，下端與內管之間的環隙為原料氣進口；所述的套管的上段側面開有圓孔為原料氣進入甲硅烷熱分解爐腔體的口，套管的開孔段長度為H4；所述的底板上設有氣體進出管和石墨電極；所述的石墨電極垂直貫穿底板、伸出底板上面的距離為H0；所述的氣體進出管垂直貫穿底板、伸出底板上面的距離為H2；所述的圓臺形冷卻夾套為雙層結構，其上端外徑為D1，下端外徑為D2，高度為H1；所述的石墨電極在底板上呈正六邊形排布，每個正六邊形的中心排布1個氣體進出管；所述的硅棒為倒U型硅棒，其兩端分別支撐在石墨電極上；所述的硅棒的垂直段外套有圓臺形冷卻夾套。

2.根據權利要求1所述的熱分解爐，其特征在于所述的H1取值為1500~2500 mm，所述的H0=0.1×H1，所述的H2=0.3~0.7×（H0+H1）、所述的H3=0.1×H1，所述的H4=0.4×H2。

3.根據權利要求1所述的熱分解爐，其特征在于所述的D1=0.1×H1，所述的D2=0.12~0.15×H1。

4.根據權利要求1所述的熱分解爐，其特征在于所述的套管的圓孔的孔徑為1~3 mm。