[發(fā)明專利]大面積石墨烯制備設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810479957.7
• 申請(qǐng)日: 2018-05-18
• 公開（公告）號(hào): CN110498409A
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金基哲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 烯馳科技(上海)有限公司
• 主分類號(hào): C01B32/186
• 分類號(hào): C01B32/186;C23C16/26;C23C16/52
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種大面積石墨烯制備設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備是包含下述部分的大面積石墨烯制備設(shè)備：

主機(jī)部；

安裝在上述主機(jī)部的上部，一側(cè)可與進(jìn)氣口相連，另一側(cè)可與真空單元相連的箱型爐(chamber)；

安裝在上述爐(chamber)的上部的第1加熱器；

可調(diào)節(jié)上述第1加熱器與上述爐(chamber)的相對(duì)位置的第1加熱器驅(qū)動(dòng)單元；

安裝在上述爐(chamber)的下部的第2加熱器；

以及可調(diào)節(jié)上述第2加熱器與上述爐(chamber)的相對(duì)位置的第2加熱器驅(qū)動(dòng)單元。

2.如權(quán)利要求1所述的大面積石墨烯制備設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備是包含下述部分的大面積石墨烯制備設(shè)備：

上述第1加熱器包含沿著與上述爐平行的第1方向排列的多個(gè)第1線型加熱器，

上述第2加熱器包含沿著與上述爐平行的第2方向排列的多個(gè)第2線型加熱器。

3.如權(quán)利要求2所述的大面積石墨烯制備設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備是

上述第1方向與上述第2方向垂直的大面積石墨烯制備設(shè)備。

4.如權(quán)利要求2所述的大面積石墨烯制備設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備是包含下述部分的大面積石墨烯制備設(shè)備：

用于有選擇性地驅(qū)動(dòng)上述多個(gè)第1線型加熱器的第1電源驅(qū)動(dòng)部；

以及用于有選擇性地驅(qū)動(dòng)上述多個(gè)第2線型加熱器的第2電源驅(qū)動(dòng)部。

5.如權(quán)利要求4所述的大面積石墨烯制備設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備是

上述第1電源驅(qū)動(dòng)部與上述第2電源驅(qū)動(dòng)部可相互獨(dú)立地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的大面積石墨烯制備設(shè)備。

6.如權(quán)利要求1所述的大面積石墨烯制備設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備是

上述第1加熱器驅(qū)動(dòng)單元和上述第2加熱器驅(qū)動(dòng)單元可以相互獨(dú)立地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的大面積石墨烯制備設(shè)備。

7.如權(quán)利要求1所述的大面積石墨烯制備設(shè)備，其特征在于，

上述爐包含

用于形成外圍面的周壁部；

附著在上述周壁部的上面，用石英制成并可使上述第1加熱器的熱輻射透射進(jìn)來的第1平板；

以及附著在上述周壁部的下面，用石英制成并可使上述第2加熱器的熱輻射透射進(jìn)來的第2平板的大面積石墨烯制備設(shè)備。

8.如權(quán)利要求1所述的大面積石墨烯制備設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備是包含下述部分的大面積石墨烯制備設(shè)備：

安裝在上述爐的內(nèi)部，還包含具有多個(gè)通孔的分散平板，以便于經(jīng)由上述氣體進(jìn)氣口注入的空氣得以分散。

9.如權(quán)利要求8所述的大面積石墨烯制備設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備是包含下述結(jié)構(gòu)的大面積石墨烯制備設(shè)備：

越靠近上述分散平板的邊緣部分，上述通孔的個(gè)數(shù)就越多。

10.如權(quán)利要求8所述的大面積石墨烯制備設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備是包含下述結(jié)構(gòu)的大面積石墨烯制備設(shè)備：

還包含可以從裝置外部調(diào)節(jié)上述分散平板的位置的移動(dòng)單元。