[發明專利]一種CVD反應腔的加工方法

在審

• 申請號: 201810478219.0
• 申請日: 2018-05-18
• 公開（公告）號: CN108723709A
• 公開（公告）日: 2018-11-02
• 發明（設計）人: 邵佳;孫彬;康樂樂
• 申請（專利權）人: 靖江佳仁半導體科技有限公司
• 主分類號: B23P15/00
• 分類號: B23P15/00;C23C16/44
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種CVD反應腔的加工方法，其特征在于，包括如下步驟：

（1）選取零件料：選取一塊方的鋁板材料，

（2）鉆工藝孔：在鉆床上打孔，做成M16螺紋孔，；再在L板的相應位置做成φ18的孔，將零件毛坯反拉于L板上；

（3）粗加工零件：在加工中心上粗加工零件的反應腔左室、反應腔右室，且在零件的四角留四個工藝凸臺，在工藝凸臺中間部位加工4個M16螺紋；并在零件頂面、側面留余量3mm；反拉上一步加工的M16螺紋，粗加工反面，側面、頂面留余量3mm；

（4）鉆側面穿絲孔：用手槍鉆在反應腔左室、反應腔右室之間的側面加工出10mm的穿絲孔；

（5）調質、回火；

（6）精飛兩平面：將零件的兩平面側壓成光面；按已加工的兩面作為基準，線割割出反應腔左室、反應腔右室之間的連接室，連接室為方形；

（7）精加工零件：在加工中心上利用L板工裝反拉零件精加工零件的背面反應腔左室、反應腔右室，且將腔體外形加工出；在臥式加工中心上精加工出零件的正面反應腔左室、反應腔右室，反應腔左室、反應腔右室四壁上的進氣孔，反應腔左室、反應腔右室外壁的密封槽，正面螺紋孔。

2.根據權利要求1所述的一種CVD反應腔的加工方法，其特征在于：步驟（7）中，加工的同心度為0.08mm；密封槽為小下大喇叭口狀，且密封區域周圍需達到Ra0.8的要求。

3.根據權利要求1所述的一種CVD反應腔的加工方法，其特征在于：步驟（6）中，線割的立柱上臂移動到能穿過反應腔左室的位置，立柱下臂移動到穿過反應腔右室的位置，在工作臺的位置上面固定工裝，調節工裝上的螺栓，使鋁板材料水平，將鉬絲穿入穿絲孔中，割出中間部分的連接室。