[發(fā)明專利]一種基于產(chǎn)業(yè)化的半導(dǎo)體集成圓片加工設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810477767.1
• 申請(qǐng)日: 2018-05-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108760763A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 聶值清;趙詠梅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣州輕舟科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/95
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/95;H01L21/66;B28D5/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種基于產(chǎn)業(yè)化的半導(dǎo)體集成圓片加工設(shè)備，包括第一機(jī)體、設(shè)置于所述第一機(jī)體上的調(diào)節(jié)裝置、左右相稱設(shè)置于所述調(diào)節(jié)裝置上的行走裝置、設(shè)置于所述行走裝置上端的光伏裝置、設(shè)置于所述行走裝置后側(cè)的檢測(cè)裝置以及設(shè)置于所述檢測(cè)裝置上的標(biāo)記裝置，所述調(diào)節(jié)裝置包括左右相稱設(shè)置于所述第一機(jī)體內(nèi)且端口分別朝向左右兩側(cè)的滑行腔，所述滑行腔內(nèi)設(shè)置有可左右滑行且一端延長(zhǎng)出端口外的滑行柱，所述滑行柱的外端固定連接有第二機(jī)體,左右相稱設(shè)置的所述第二機(jī)體之間且位于所述第一機(jī)體上側(cè)設(shè)置有第一接連塊，所述第一接連塊的左右兩側(cè)端面上轉(zhuǎn)動(dòng)配合連接有第一接連桿，左右相稱設(shè)置的所述第一接連桿遠(yuǎn)離所述第一接連塊的一端分別轉(zhuǎn)動(dòng)配合連接于所述第二機(jī)體的相對(duì)一側(cè)端面上，所述滑行柱遠(yuǎn)離所述第二機(jī)體的一側(cè)端面上固定設(shè)置有第一固定塊，左右相稱設(shè)置的所述滑行腔之間設(shè)置有第一腔體，所述第一機(jī)體內(nèi)設(shè)置有通連所述第一腔體與所述滑行腔的第二腔體，所述第一腔體的前后側(cè)內(nèi)壁之間通過(guò)第一轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)配合連接有第一卷繞輪，所述第一卷繞輪上繞設(shè)有第一拉繩，所述第一拉繩的一端固定連接于所述第一固定塊上，所述第一機(jī)體上側(cè)端面的中部位置固定設(shè)置有第二固定塊，所述第二固定塊內(nèi)設(shè)置有第一轉(zhuǎn)腔，所述第一轉(zhuǎn)腔的上側(cè)內(nèi)壁內(nèi)設(shè)置有第一通連孔，所述第一轉(zhuǎn)腔的右側(cè)內(nèi)壁內(nèi)固定設(shè)置有第一驅(qū)動(dòng)機(jī)，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)的左端通過(guò)轉(zhuǎn)軸動(dòng)力配合連接有第二卷繞輪，所述第二卷繞輪與所述第一轉(zhuǎn)腔轉(zhuǎn)動(dòng)配合連接，動(dòng)力連接于所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)左端的轉(zhuǎn)軸與所述第一轉(zhuǎn)腔的左側(cè)內(nèi)壁之間設(shè)置有第一密封圈，所述第二卷繞輪上繞設(shè)有第二拉繩，所述第二拉繩的上端延長(zhǎng)通過(guò)所述第一通連孔固定配合連接于所述第一接連塊的下側(cè)端面上，所述行走裝置包括設(shè)置于所述第二機(jī)體內(nèi)第一凹陷腔，所述第一凹陷腔的下側(cè)內(nèi)壁上前后貫通且相通連的設(shè)置有第一驅(qū)動(dòng)槽，所述第一凹陷腔內(nèi)設(shè)置有通過(guò)第二轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)配合連接于所述第一凹陷腔左右側(cè)內(nèi)壁上的第一行走輪，所述第一凹陷腔遠(yuǎn)離所述第一機(jī)體的一側(cè)內(nèi)壁內(nèi)設(shè)置有第一安裝腔，所述第一安裝腔內(nèi)設(shè)置有第一齒形輪，所述第一齒形輪通過(guò)延長(zhǎng)入所述第一安裝腔內(nèi)的所述第二轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)配合連接于所述第一安裝腔的左右側(cè)內(nèi)壁之間，所述第一齒形輪上側(cè)且位于所述第一安裝腔內(nèi)設(shè)置有與所述第一齒形輪配合連接的第二齒形輪，所述第二齒形輪通過(guò)第三轉(zhuǎn)軸動(dòng)力配合連接于固定設(shè)置在所述第二安裝腔內(nèi)壁內(nèi)的第二驅(qū)動(dòng)機(jī)上，所述第一連接塊上還設(shè)有照射裝置，所述照射裝置包括燈臺(tái)以及照射燈。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于產(chǎn)業(yè)化的半導(dǎo)體集成圓片加工設(shè)備，其特征在于：所述檢測(cè)裝置包括設(shè)置于所述第二機(jī)體后側(cè)端面內(nèi)的第一滑行槽，所述第一滑行槽的后側(cè)內(nèi)壁上設(shè)置有第一端口槽，所述第一滑行槽的下側(cè)內(nèi)壁內(nèi)固定設(shè)置有第三驅(qū)動(dòng)機(jī)，所述第三驅(qū)動(dòng)機(jī)的上端動(dòng)力配合連接有上端轉(zhuǎn)動(dòng)配合連接于所述第一滑行槽上側(cè)內(nèi)壁上的第一螺旋桿，所述第一滑行槽內(nèi)設(shè)置有可上下滑行且與所述第一螺旋桿配合連接的第一滑行塊，所述第二機(jī)體后側(cè)設(shè)置有接連架，所述接連架內(nèi)設(shè)置有端口向前方第二滑行槽，所述第二滑行槽的上側(cè)內(nèi)壁內(nèi)設(shè)置有第二端口槽，所述第二滑行槽的下側(cè)內(nèi)壁內(nèi)固定設(shè)置有第四驅(qū)動(dòng)機(jī)，所述第四驅(qū)動(dòng)機(jī)上端動(dòng)力配合連接有上端轉(zhuǎn)動(dòng)配合連接于所述第一滑行槽上側(cè)內(nèi)壁上的第二螺旋桿，所述第二滑行槽內(nèi)設(shè)置有可上下滑行且與所述第二螺旋桿配合連接的第二滑行塊，所述第二機(jī)體與所述接連架之間設(shè)置有第二接連塊，所述第二接連塊前側(cè)端面與所述第一滑行塊后側(cè)端面之間固定連接有可在所述第一端口槽內(nèi)上下滑行的第一導(dǎo)塊，所述第二接連塊后側(cè)端面與所述第二滑行塊前側(cè)端面之間固定連接有第二導(dǎo)塊，所述第二接連塊的下側(cè)端面上通過(guò)接連柱固定連接有檢測(cè)塊，所述檢測(cè)塊內(nèi)左右貫通設(shè)置有端口向下的通連腔，所述通連腔的上側(cè)內(nèi)壁及前后側(cè)內(nèi)壁上固定設(shè)置有激光檢測(cè)頭。