[發明專利]一種電注入退火裝置

在審

• 申請號: 201810474688.5
• 申請日: 2018-05-17
• 公開（公告）號: CN108511559A
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發明（設計）人: 蔣新;劉濤;陳國才;劉斌;竇福存
• 申請（專利權）人: 蘇州晶洲裝備科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 蘇州根號專利代理事務所(普通合伙) 32276
• 代理人: 項麗

本發明涉及一種電注入退火裝置，用于電池片退火，包括框架主體，所述框架主體的底部設置有滾輪輸送系統，用于承載電池片的載具經所述輸送滾輪系統依次經過所述上料工位、反向電流注入工位、冷卻工位和下料工位進行退火處理；其中，所述反向電流注入工位用于對所述載具內的電池片進行電注入，所述反向電流注入工位中設有至少兩個工藝腔，包括至少一個高溫工藝腔和至少一個低溫工藝腔，所述反向電流注入工位中配置有熱量控制系統，用于調節所述至少一個高溫工藝腔和至少一個低溫工藝腔的腔內溫度。本發明能夠實現對于電池片的電注入狀況下的退火，處理效率高，能夠有效提高電池片的轉換效率。

技術領域

本發明涉及電池片加工技術領域，特別是涉及一種用于對電池片進行退火的裝置，尤其涉及一種電注入的退火裝置。

背景技術

硅片（電池片）中含有氧，氧有吸取雜質的作用，對硅片進行退火處理，能夠促進存留于硅中的氧向外擴散，在硅片表面形成低氧環境（潔凈區），從而減少甚至能夠消除由氧造成的晶體缺陷，有利于后期器件制造，硅片退火能夠對其電阻率及少子壽命造成影響。另外，光致衰減(LID)是指太陽能電池及組件在光照過程中引起的功率衰減現象。為了提高電池效率，目前研發出了PERC（鈍化發射極及背局域接觸電池）高效電池，但經過實踐發現，如果不對成品電池進行處理，高效電池的LID現象會減小電池的效率增益，降低電池片的轉換效率。

針對上述缺陷，現在多采用退火處理，但發現在硅片退火過程中如保持其處于通電狀態，能夠使得硅片的退火效果更好，具備更優越的性能，但目前還沒有硅片退火設備對此制造出相應的裝置，因此急需一種可靠工作的硅片退火設備來解決這一問題。

發明內容

本發明的目的是要提供一種電注入退火裝置，能夠實現對于電池片的電注入狀況下的退火，處理效率高，能夠有效提高電池片的轉換效率。

為達到上述目的，本發明采用的技術方案是：

本發明提供了一種電注入退火裝置，用于電池片退火，包括框架主體，所述框架主體的底部設置有滾輪輸送系統，沿所述輸送滾輪系統的行進方向所述框架主體中依序設置有上料工位、反向電流注入工位 、冷卻工位和下料工位，用于承載電池片的載具經所述輸送滾輪系統依次經過所述上料工位、反向電流注入工位 、冷卻工位和下料工位進行退火處理；其中，所述反向電流注入工位用于對所述載具內的電池片進行電注入，所述反向電流注入工位中設有至少兩個工藝腔，包括至少一個高溫工藝腔和至少一個低溫工藝腔，所述反向電流注入工位中配置有熱量控制系統，用于調節所述至少一個高溫工藝腔和至少一個低溫工藝腔的腔內溫度。

對于上述技術方案，發明人還有進一步的優化措施。

優選地，在所述反向電流注入工位中對應于每個工藝腔分別配置有一個電流注入系統，所述電流注入系統包括電極氣缸和電極架，所述電極氣缸豎直固定在所述框架主體上并位于每個工藝腔的上方，所述電極架固定在所述電極氣缸的底部。

進一步地，所述電極架包括絕緣固定架和導電柱，所述絕緣固定架的中部固定連接電極氣缸的底部，固定在所述絕緣固定架上的所述導電柱對應所述載具上的電池片中心，用于接觸所述電池片并對電池片進行電流注入。

優選地，所述熱量控制系統包括分別設置在所述至少一個高溫工藝腔和至少一個低溫工藝腔中的石英加熱器、循環風機和抽風裝置，所述石英加熱器用于對工位的加熱，循環風機用于對工位中提供循環風、均勻熱量，所述抽風裝置設置在工位頂部用于控制調節工位中的散熱。

進一步地，所述電流注入系統中的電極架處配置了用于讀取工藝腔內溫度的熱電偶，所述熱量控制系統根據熱電偶反饋的溫度信息控制調節對應工藝腔中所述石英加熱器、循環風機和抽風裝置的工作，實現對于工藝腔中的溫度控制。

更進一步地，所述熱量控制系統還包括中壓風機，所述中壓風機設置在所述反向電流注入工位的頂部，用于在抽風不足時控制所述反向電流注入工位的溫度。