[發明專利]一種電注入退火裝置

在審

• 申請號: 201810474688.5
• 申請日: 2018-05-17
• 公開（公告）號: CN108511559A
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發明（設計）人: 蔣新;劉濤;陳國才;劉斌;竇福存
• 申請（專利權）人: 蘇州晶洲裝備科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 蘇州根號專利代理事務所(普通合伙) 32276
• 代理人: 項麗

1. 一種電注入退火裝置，用于電池片退火，包括框架主體，所述框架主體的底部設置有滾輪輸送系統，沿所述輸送滾輪系統的行進方向所述框架主體中依序設置有上料工位、反向電流注入工位 、冷卻工位和下料工位，用于承載電池片的載具經所述輸送滾輪系統依次經過所述上料工位、反向電流注入工位 、冷卻工位和下料工位進行退火處理；其中，所述反向電流注入工位用于對所述載具內的電池片進行電注入，所述反向電流注入工位中設有至少兩個工藝腔，包括至少一個高溫工藝腔和至少一個低溫工藝腔，所述反向電流注入工位中配置有熱量控制系統，用于調節所述至少一個高溫工藝腔和至少一個低溫工藝腔的腔內溫度。

2.根據權利要求1所述的電注入退火裝置，其特征在于，在所述反向電流注入工位中對應于每個工藝腔分別配置有一個電流注入系統，所述電流注入系統包括電極氣缸和電極架，所述電極氣缸豎直固定在所述框架主體上并位于每個工藝腔的上方，所述電極架固定在所述電極氣缸的底部。

3.根據權利要求2所述的電注入退火裝置，其特征在于，所述電極架包括絕緣固定架和導電柱，所述絕緣固定架的中部固定連接電極氣缸的底部，固定在所述絕緣固定架上的所述導電柱對應所述載具上的電池片的中心，用于接觸所述電池片并對電池片進行電流注入。

4.根據權利要求1所述的電注入退火裝置，其特征在于，所述熱量控制系統包括分別設置在所述至少一個高溫工藝腔和至少一個低溫工藝腔中的石英加熱器、循環風機和抽風裝置，所述石英加熱器用于對工位的加熱，循環風機用于對工位中提供循環風、均勻熱量，所述抽風裝置設置在工位頂部用于控制調節工位中的散熱。

5.根據權利要求4所述的電注入退火裝置，其特征在于，所述電流注入系統中的電極架處配置了用于讀取工藝腔內溫度的熱電偶，所述熱量控制系統根據熱電偶反饋的溫度信息控制調節對應工藝腔中所述石英加熱器、循環風機和抽風裝置的工作，實現對于工藝腔中的溫度控制。

6.根據權利要求4或5中所述的電注入退火裝置，其特征在于，所述熱量控制系統還包括中壓風機，所述中壓風機設置在所述反向電流注入工位的頂部，用于在抽風不足時控制所述反向電流注入工位的溫度。

7.根據權利要求1所述的電注入退火裝置，其特征在于，所述滾輪輸送系統包括多根連續且平行設置的滾輪，所述滾輪的軸承座設置在固定用的型材上，所述型材通過調節螺栓沿所述框架主體的長度方向水平固定，所述調節螺栓豎直設置，用于調整所述型材的上下高度進而調整所述滾輪輸送系統的水平。

8.根據權利要求1所述的電注入退火裝置，其特征在于，在所述反向電流注入工位的四壁上設有保溫壁板，且在每個工位之間均設置有隔熱材料制成的隔熱門，所述隔熱門的頂部與一升降氣缸相連。

9.根據權利要求1所述的電注入退火裝置，其特征在于，所述載具為多層載具，所述載具包括云母制成的承載主體，在所述承載主體中通過限位件分隔出多層用來放置電池片的腔體，上下兩層腔體之間設置有用于電連接兩層腔體中電池片的導電柱。

10.根據權利要求9所述的電注入退火裝置，其特征在于，所述每層腔體的底部設置有與電池片形狀適配的導電板，所述導電柱固定在所述導電板的底部，且導電柱的下部還固定連接有第二導電板，所述第二導電板的形狀與電池片適配。