[發明專利]利用雙氧水溶液剝離鈦和氮化鈦膜的方法在審
| 申請號： | 201810469102.6 | 申請日： | 2018-05-16 |
| 公開（公告）號： | CN108707899A | 公開（公告）日： | 2018-10-26 |
| 發明（設計）人： | 熊志紅;張遠 | 申請（專利權）人： | 深圳仕上電子科技有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/14 | 分類號： | C23F1/14;C23G1/24 |
| 代理公司： | 深圳市漢唐知識產權代理有限公司 44399 | 代理人： | 劉海軍 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安區*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 雙氧水溶液 浸泡 氮化鈦膜 漂洗 中和反應 氟酸 流動 剝離 純水浸泡 干燥處理 工件表面 浸泡清洗 超純水 干燥爐 氫氟酸 無殘留 硝酸 目測 配比 治具 鈦膜 沖洗 | ||
1.一種利用雙氧水溶液剝離鈦和氮化鈦膜的方法，其特征是：所述的方法包括下述步驟：
（1）、雙氧水溶液浸泡：采用雙氧水溶液對工件進行浸泡處理，雙氧水溶液為H2O2：H2O=（32~38）：（62~68），浸泡溫度為45℃~55℃，反應時間為3-5小時，直至目測工件表面無殘留鈦膜或氮化鈦膜位置；
（2）、漂洗：采用流動的水進行漂洗，漂洗時間大于或等于30秒；
（3）、中和反應：采用硝氟酸進行中和反應，硝氟酸采用硝酸和氫氟酸配比而成，HNO3：HF：H2O=（17~23）：（0.5~1.5）：（17~23），反應為在常溫溫度下進行浸泡反應，反應時間為10-30S；
（4）、純水浸泡：采用流動的水進行浸泡沖洗30分鐘以上，浸泡時應保持超純水的流動；
（5）、干燥：將浸泡清洗后的工件放在干燥爐的治具上進行干燥處理。
2.根據權利要求1所述的利用雙氧水溶液剝離鈦和氮化鈦膜的方法，其特征是：所述的步驟（1）中采用的雙氧水溶液為H2O2：H2O=35：65。
3.根據權利要求1所述的利用雙氧水溶液剝離鈦和氮化鈦膜的方法，其特征是：所述的步驟（1）中采用的水為電阻率大于或等于12MΩ.CM的超純水。
4.根據權利要求1所述的利用雙氧水溶液剝離鈦和氮化鈦膜的方法，其特征是：所述的步驟（1）中采用的雙氧水為濃度30-32%的雙氧水。
5.根據權利要求1所述的利用雙氧水溶液剝離鈦和氮化鈦膜的方法，其特征是：所述的步驟（2）中采用的水為電阻率大于或等于12MΩ.CM的超純水。
6.根據權利要求1所述的利用雙氧水溶液剝離鈦和氮化鈦膜的方法，其特征是：所述的步驟（3）中采用的HNO3：HF：H2O=20：1：20。
7.根據權利要求1所述的利用雙氧水溶液剝離鈦和氮化鈦膜的方法，其特征是：所述的步驟（3）中采用的硝酸為濃度為68％的濃硝酸。
8.根據權利要求1所述的利用雙氧水溶液剝離鈦和氮化鈦膜的方法，其特征是：所述的步驟（3）中采用的氫氟酸為濃度為55％的氫氟酸。
9.根據權利要求1所述的利用雙氧水溶液剝離鈦和氮化鈦膜的方法，其特征是：所述的步驟（4）中采用的水為電阻率大于或等于12MΩ.CM的超純水。
10.根據權利要求1所述的利用雙氧水溶液剝離鈦和氮化鈦膜的方法，其特征是：所述的步驟（5）中將浸泡清洗后的工件放在干燥爐的治具上進行干燥處理，采用CDA吹干，常溫吹至表面物流動水，放至干燥箱進行干燥，干燥溫度為150±5℃，烘烤2小時以上。
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