[發明專利]一種四氯化硅的氫化方法有效
| 申請號： | 201810467385.0 | 申請日： | 2018-05-16 |
| 公開（公告）號： | CN108439413B | 公開（公告）日： | 2019-10-25 |
| 發明（設計）人： | 張寶順;宗冰;肖建忠;王體虎;陳聰 | 申請（專利權）人： | 亞洲硅業（青海）有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 畢翔宇 |
| 地址： | 810000 青海*** | 國省代碼： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 四氯化硅 氫化 負載金屬催化劑 電磁場調整 多晶硅生產 低溫氫化 氣體放電 電磁場 反應器 氫氣 填充 | ||
1.一種四氯化硅的氫化方法，其特征在于，向填充有電磁場調整材料和負載金屬催化劑的氣體放電反應器內通入四氯化硅和氫氣，在電磁場的作用下反應；
所述放電反應器為介質阻擋放電反應器或滑動弧放電反應器，所述電磁場調整材料為鐵電材料。
2.根據權利要求1所述的氫化方法，其特征在于，所述負載金屬催化劑包括金屬和載體。
3.根據權利要求2所述的氫化方法，其特征在于，所述金屬選自Cu、Fe、Al、Pt、Ag和Au中的一種。
4.根據權利要求3所述的氫化方法，其特征在于，所述金屬為Cu。
5.根據權利要求2所述的氫化方法，其特征在于，所述載體選自SiO2、Al2O3、TiO2、硅鋁酸鹽和活性炭中的一種。
6.根據權利要求5所述的氫化方法，其特征在于，所述載體為SiO2。
7.根據權利要求1所述的氫化方法，其特征在于，所述鐵電材料選自BaTiO3、KTaO3、LiNbO3、PZT、PLZT和Cd2Nb2O7中的一種。
8.根據權利要求1所述的氫化方法，其特征在于，所述負載金屬催化劑與所述電磁場調整材料的體積比為20:1-6:1。
9.根據權利要求1所述的氫化方法，其特征在于，所述放電反應器為介質阻擋放電反應器。
10.根據權利要求9所述的氫化方法，其特征在于，所述放電反應器為雙層介質阻擋放電反應器。
11.根據權利要求1所述的氫化方法，其特征在于，所述氫氣和所述四氯化硅的摩爾比為5:1-25:1。
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