[發(fā)明專利]豎直存儲器件有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810466878.2 | 申請日： | 2018-05-16 |
| 公開（公告）號： | CN108962910B | 公開（公告）日： | 2023-08-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 金敬勛;金泓秀;李太熙 | 申請（專利權(quán)）人： | 三星電子株式會社 |
| 主分類號： | H10B43/35 | 分類號： | H10B43/35 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人： | 王新華 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 豎直 存儲 器件 | ||
1.一種豎直存儲器件，包括：
導(dǎo)電圖案結(jié)構(gòu)，在基板上并包括交錯的導(dǎo)電圖案和絕緣層的堆疊，其中所述導(dǎo)電圖案的邊緣設(shè)置在沿著第一方向間隔開的點(diǎn)處以提供布置為階梯布置中的各臺階的導(dǎo)電焊盤；
多個溝道結(jié)構(gòu)，在垂直于所述第一方向的第二方向上延伸穿過所述導(dǎo)電圖案結(jié)構(gòu)；
多個虛設(shè)溝道結(jié)構(gòu)，在所述第二方向上延伸穿過所述導(dǎo)電焊盤；以及
各接觸插塞，在所述導(dǎo)電焊盤上，
其中所述導(dǎo)電焊盤中的第一個具有從其穿過的第一數(shù)量的所述虛設(shè)溝道結(jié)構(gòu)，并且其中所述導(dǎo)電焊盤中的第二個具有從其穿過的第二數(shù)量的所述虛設(shè)溝道結(jié)構(gòu)，所述第二數(shù)量不同于所述虛設(shè)溝道結(jié)構(gòu)的所述第一數(shù)量，
其中穿過所述導(dǎo)電焊盤的所述虛設(shè)溝道結(jié)構(gòu)的寬度從所述臺階中的最上面的一個朝向所述臺階中的次最下的一個增大，
其中穿過所述導(dǎo)電焊盤的所述虛設(shè)溝道結(jié)構(gòu)的數(shù)量從所述導(dǎo)電焊盤中的最上面的一個朝向所述導(dǎo)電焊盤中的次最下的一個減少。
2.如權(quán)利要求1所述的豎直存儲器件，其中穿過所述導(dǎo)電焊盤中的所述第一個的所述虛設(shè)溝道結(jié)構(gòu)具有第一寬度，并且其中穿過所述導(dǎo)電焊盤中的所述第二個的所述虛設(shè)溝道結(jié)構(gòu)具有第二寬度，所述第二寬度不同于所述第一寬度。
3.如權(quán)利要求2所述的豎直存儲器件，其中所述第一數(shù)量的虛設(shè)溝道結(jié)構(gòu)少于所述第二數(shù)量的所述虛設(shè)溝道結(jié)構(gòu)，并且其中所述第一寬度大于所述第二寬度。
4.如權(quán)利要求1所述的豎直存儲器件，其中所述導(dǎo)電焊盤中的所述第一個是所述臺階中的比所述導(dǎo)電焊盤中的所述第二個低的一個。
5.如權(quán)利要求4所述的豎直存儲器件，其中穿過所述導(dǎo)電焊盤的所述虛設(shè)溝道結(jié)構(gòu)的數(shù)量從所述導(dǎo)電焊盤中的上部的一個朝向所述導(dǎo)電焊盤中的下部的一個減少。
6.如權(quán)利要求1所述的豎直存儲器件，其中穿過所述導(dǎo)電焊盤中的最下面的一個的所述虛設(shè)溝道結(jié)構(gòu)的寬度小于穿過所述導(dǎo)電焊盤中的次最下的一個的所述虛設(shè)溝道結(jié)構(gòu)的寬度。
7.如權(quán)利要求6所述的豎直存儲器件，其中穿過所述導(dǎo)電焊盤中的最下面的一個的所述虛設(shè)溝道結(jié)構(gòu)的數(shù)量大于穿過所述導(dǎo)電焊盤中的次最下的一個的所述虛設(shè)溝道結(jié)構(gòu)的數(shù)量。
8.如權(quán)利要求1所述的豎直存儲器件，其中所述接觸插塞在所述第一方向上線性地排列，并且其中所述接觸插塞中的一個接觸所述導(dǎo)電焊盤中的最下面的一個的中央部分。
9.如權(quán)利要求1所述的豎直存儲器件，其中各導(dǎo)電焊盤上的所述接觸插塞沒有在所述第一方向上線性地排列。
10.如權(quán)利要求9所述的豎直存儲器件，其中所述導(dǎo)電焊盤上的所述接觸插塞在相對于所述第一方向具有角度的傾斜方向上排列，并且其中所述接觸插塞中的一個接觸所述導(dǎo)電焊盤中的最下面的一個的中央部分。
11.如權(quán)利要求1所述的豎直存儲器件，
其中所述導(dǎo)電圖案的第一邊緣設(shè)置在沿著所述第一方向間隔開的第一點(diǎn)處以提供布置為第一階梯布置中的各臺階的第一導(dǎo)電焊盤；并且
其中所述導(dǎo)電圖案的第二邊緣設(shè)置在沿著所述第一方向間隔開的第二點(diǎn)處以提供布置為第二階梯布置中的各臺階的第二導(dǎo)電焊盤。
12.如權(quán)利要求1所述的豎直存儲器件，其中所述溝道結(jié)構(gòu)具有第一寬度，并且其中所述虛設(shè)溝道結(jié)構(gòu)具有第二寬度，所述第二寬度與所述第一寬度相同或大于所述第一寬度。
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