[發明專利]封裝工藝有效
| 申請號: | 201810465285.4 | 申請日: | 2018-05-16 |
| 公開(公告)號: | CN110504173B | 公開(公告)日: | 2021-03-23 |
| 發明(設計)人: | 陳莉 | 申請(專利權)人: | 無錫華潤安盛科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/56 | 分類號: | H01L21/56 |
| 代理公司: | 北京博思佳知識產權代理有限公司 11415 | 代理人: | 林祥 |
| 地址: | 214028 *** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 封裝 工藝 | ||
1.一種封裝工藝,其特征在于,包括:
將待塑封封裝體裝配于預設載板;
將預設絕緣材料覆蓋所述待塑封封裝體,得到塑封件;
烘烤所述塑封件和所述預設載板;
在烘烤完成后,
將所述預設載板與所述塑封件放置于預設潮濕箱內加濕第二預設時長;
分離所述塑封件與所述預設載板。
2.根據權利要求1所述的封裝工藝,其特征在于,所述烘烤所述塑封件和所述預設載板,包括:
將所述預設載板和所述塑封件放置于第一預設烘烤箱內烘烤第一預設時長。
3.根據權利要求1所述的封裝工藝,其特征在于,所述第二預設時長與所述預設潮濕箱內的環境因素相關,所述環境因素包括環境濕度、環境溫度和壓強。
4.根據權利要求3所述的封裝工藝,其特征在于,當所述環境濕度不小于85%、環境溫度不低于50℃、所述壓強為1~5個大氣壓時,所述第二預設時長不短于半小時。
5.根據權利要求1所述的封裝工藝,其特征在于,還包括:
在加濕完成后,再次烘烤所述預設載板與所述塑封件。
6.根據權利要求5所述的封裝工藝,其特征在于,所述在加濕完成后,再次烘烤所述預設載板與所述塑封件,包括:
將所述預設載板和所述塑封件放置于第二預設烘烤箱內烘烤第三預設時長。
7.根據權利要求1所述的封裝工藝,其特征在于,還包括:
將所述待塑封封裝體與預設引腳進行引線鍵合。
8.根據權利要求7所述的封裝工藝,其特征在于,所述預設引腳位于所述預設載板上,且所述預設引腳與所述預設載板可分離。
9.根據權利要求1所述的封裝工藝,其特征在于,還包括:
針對與所述預設載板分離后的塑封件進行切割,得到多個預設方形扁平無引腳封裝結構。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





