[發(fā)明專利]一種等離子刻蝕機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810464195.3
• 申請(qǐng)日: 2018-05-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108470671B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁亞;梁志強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海爾迪儀器科技有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32
• 代理公司: 上海宏京知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31297
• 代理人: 何艷娥

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體的說(shuō)是一種等離子刻蝕機(jī)，包括反應(yīng)腔室，反應(yīng)腔室內(nèi)設(shè)置有離子產(chǎn)生電極；離子產(chǎn)生電極上方設(shè)置有支撐框以支撐待加工工件；支撐框上表面豎直開(kāi)設(shè)有安裝孔；離子產(chǎn)生電極在對(duì)應(yīng)著安裝孔的區(qū)域開(kāi)設(shè)有螺紋孔，安裝孔和螺紋孔通過(guò)螺釘連接；螺釘與支撐框之間設(shè)置有墊板，墊板能夠避免螺釘因振動(dòng)而在安裝孔內(nèi)發(fā)生松動(dòng)；支撐框在安裝孔的位置設(shè)置有密封單元，密封單元位于墊板的上方，密封單元與墊板相互配合實(shí)現(xiàn)對(duì)支撐框的安裝孔的密封。本發(fā)明能夠?qū)γ芊鈫卧M(jìn)行固定，同時(shí)采用密封圈和液封等多種形式來(lái)阻止等離子體進(jìn)入安裝孔后對(duì)離子產(chǎn)生電極造成破壞，提高了刻蝕機(jī)的使用壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體的說(shuō)是一種等離子刻蝕機(jī)。

背景技術(shù)

等離子刻蝕機(jī)，又叫等離子蝕刻機(jī)、等離子平面刻蝕機(jī)、等離子體刻蝕機(jī)、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子刻蝕，是干法刻蝕中最常見(jiàn)的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過(guò)電場(chǎng)加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

現(xiàn)有技術(shù)中也出現(xiàn)了一些等離子刻蝕機(jī)的技術(shù)方案，如申請(qǐng)?zhí)枮?015106577680的一項(xiàng)中國(guó)專利公開(kāi)了一種等離子刻蝕機(jī)，包括反應(yīng)腔室，所述反應(yīng)腔室內(nèi)設(shè)置有離子產(chǎn)生電極，所述離子產(chǎn)生電極上方設(shè)置有支撐框以支撐待加工工件，所述支撐框開(kāi)設(shè)有安裝孔，所述離子產(chǎn)生電極在對(duì)應(yīng)著所述安裝孔的區(qū)域開(kāi)設(shè)有螺紋孔，所述安裝孔和所述螺紋孔通過(guò)螺釘連接，所述螺釘?shù)妮S向、且位于所述螺釘?shù)纳戏皆O(shè)置有密封單元，所述密封單元用于密封所述安裝孔。該技術(shù)方案雖然通過(guò)密封帽蓋、密封圈和密封體實(shí)現(xiàn)了對(duì)安裝孔內(nèi)螺釘?shù)谋Ｗo(hù)，但是由于工作溫度高，密封圈容易發(fā)生失效，這時(shí)，等離子體便能夠通過(guò)密封單元與支撐框之間的間隙進(jìn)入安裝孔，對(duì)離子產(chǎn)生電極進(jìn)行破壞；而且，密封單元沒(méi)有很好的實(shí)現(xiàn)固定，可能會(huì)因連接松動(dòng)導(dǎo)致出現(xiàn)間隙的情況，使得該發(fā)明的使用受到限制。

鑒于此，本發(fā)明所述的一種等離子刻蝕機(jī)，能夠?qū)γ芊鈫卧M(jìn)行固定，同時(shí)采用密封圈和液封等多種形式來(lái)阻止等離子體進(jìn)入安裝孔后對(duì)離子產(chǎn)生電極造成破壞，提高了刻蝕機(jī)的使用壽命。

發(fā)明內(nèi)容

為了彌補(bǔ)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提出了一種等離子刻蝕機(jī)，本發(fā)明主要用于避免在刻蝕過(guò)程中因等離子體進(jìn)入支撐框的安裝孔后對(duì)離子產(chǎn)生電極造成損傷。本發(fā)明通過(guò)支撐框、螺釘、墊板和密封單元的相互配合工作能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)支撐框的安裝孔的多重密封，密封效果好，避免了對(duì)離子產(chǎn)生電極造成損壞，延長(zhǎng)了刻蝕機(jī)的使用壽命。

本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：本發(fā)明所述的一種等離子刻蝕機(jī)，包括反應(yīng)腔室，所述反應(yīng)腔室內(nèi)設(shè)置有離子產(chǎn)生電極；所述離子產(chǎn)生電極上方設(shè)置有支撐框以支撐待加工工件；所述支撐框上表面豎直開(kāi)設(shè)有安裝孔；所述離子產(chǎn)生電極在對(duì)應(yīng)著安裝孔的區(qū)域開(kāi)設(shè)有螺紋孔，安裝孔和螺紋孔通過(guò)螺釘連接；所述螺釘與支撐框之間設(shè)置有墊板，墊板能夠避免螺釘因振動(dòng)而在安裝孔內(nèi)發(fā)生松動(dòng)；所述支撐框在安裝孔的位置設(shè)置有密封單元，密封單元位于墊板的上方，密封單元與墊板相互配合實(shí)現(xiàn)對(duì)支撐框的安裝孔的密封。

所述安裝孔為臺(tái)階孔，臺(tái)階孔包括第一臺(tái)階孔和位于第一臺(tái)階孔上方的第二臺(tái)階孔，第二臺(tái)階孔的孔徑大于第一臺(tái)階孔的孔徑；所述螺釘?shù)闹黧w部分位于螺紋孔和第一臺(tái)階孔內(nèi)，螺釘?shù)念^部位于第二臺(tái)階孔內(nèi)；所述墊板位于第二臺(tái)階孔內(nèi)，墊板為“U”字型結(jié)構(gòu)，螺釘頭部位于墊板內(nèi)，螺釘穿過(guò)墊板底部將支撐框與離子產(chǎn)生電極通過(guò)螺紋實(shí)現(xiàn)連接，墊板上端的開(kāi)口位置豎直設(shè)置有螺紋結(jié)構(gòu)；所述密封單元與墊板通過(guò)螺紋實(shí)現(xiàn)連接。