[發明專利]一種晶粒批量自動化濕式制程處理系統及其載具

在審

• 申請號: 201810458574.1
• 申請日: 2018-05-14
• 公開（公告）號: CN108417517A
• 公開（公告）日: 2018-08-17
• 發明（設計）人: 翁振國;黃榮龍
• 申請（專利權）人: 安徽宏實自動化裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶粒批量自動化濕式制程處理系統及其載具，其特征是，包括濕式制程機臺、托板輸送系統、轉載板循環輸送系統、蓋板循環輸送系統和機械手，所述托板輸送系統、轉載板循環輸送系統、蓋板循環輸送系統和機械手分別布置在濕式制程機臺兩側，晶粒人工放置到托板上，經托板輸送系統送入，機械手將托板上的晶粒集中取出并水平轉移至轉載板上，托板經托板輸送系統送至濕式制程機臺的輸出端，蓋板下移覆蓋在轉載板上，轉載板覆蓋蓋板后進入濕式制程機臺進行晶粒處理，晶粒處理后轉載板經濕式制程機臺輸送系統輸出，蓋板上移取出并經蓋板循環輸送系統收回至轉載板覆蓋蓋板處，機械手將轉載板上的晶粒取出并水平轉移至托板上，轉載板經轉載板循環輸送系統收回至濕式制程機臺前端的轉載盤盛放晶粒處，托板將晶粒送至產品集中處。

2.根據權利要求1所述的一種晶粒批量自動化濕式制程處理系統及其載具，其特征是，所述蓋板輸送系統包括回收架，回收架上設有上下運動的滑軌載臺，蓋板層疊堆積在滑軌載臺上。

3.根據權利要求1所述的一種晶粒批量自動化濕式制程處理系統及其載具，其特征是，所述托板輸送系統、轉載板循環輸送系統、蓋板循環輸送系統設為滑車或螺桿輸送方式。

4.根據權利要求1所述的一種晶粒批量自動化濕式制程處理系統及其載具，其特征是，所述托板輸送系統、轉載板循環輸送系統、蓋板循環輸送系統上分別設有托板、轉載板、蓋板的輸送定位裝置。

5.晶粒載具，其特征是，包括托板、轉載板和蓋板，所述托板、轉載板和蓋板均為矩形板，托板和轉載板上大小形狀一致，且均設有均勻排列的網格板，蓋板和轉載板大小一致，蓋板上設有鏤空的柵條板，且柵條板對應轉載板上縱向的網格槽。

6.根據權利要求5所述的一種晶粒批量自動化濕式制程處理系統及其載具，其特征是，所述轉載板的四角分別設有定位孔，蓋板的四角分別設有定位柱，且定位柱與定位孔對應配合。