[發明專利]管路清潔組件及管路清潔方法

在審

• 申請號: 201810457115.1
• 申請日: 2018-05-14
• 公開（公告）號: CN108787645A
• 公開（公告）日: 2018-11-13
• 發明（設計）人: 劉干
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: B08B9/027
• 分類號: B08B9/027
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280
• 代理人: 鐘子敏

本申請提供一種管路清潔組件及管路清潔方法。所述管路清潔組件包括加熱機構和輸氣管道，加熱機構用于對氣體加熱，輸氣管道與待清潔的管路導通，并將加熱后的氣體通入所述管路。基于此，本申請能夠在清潔管路的同時，有利于提高設備運行時間，減少產能損失。

技術領域

本申請涉及顯示技術領域，具體涉及顯示器件的制造設備的清潔領域，尤其涉及一種管路清潔組件及管路清潔方法。

背景技術

在顯示裝置的制程中，各制造設備會產生大量的粉塵類污染物，這些不能被排放的污染物冷卻后會粘附在管路的側壁上，不僅會造成管路負壓不足或者堵塞，容易引起設備宕機，影響設備正常運行，而且污染物會腐蝕密封圈，加快其老化，增加管路氣體泄露的風險。為了解決該問題，現有技術一般關停設備，并定期拆開管路對管路進行保養。但是，該技術必須設備停機較長時間，會嚴重影響產能。

發明內容

鑒于此，本申請提供一種管路清潔組件及管路清潔方法，能夠在清潔管路的同時，有利于提高設備運行時間，減少產能損失。

本申請一實施例的管路清潔組件，包括加熱機構和輸氣管道，所述加熱機構用于對氣體加熱，所述輸氣管道與待清潔的管路導通，并將加熱后的氣體通入所述管路。

本申請一實施例的管路清潔方法，包括：

提供一管路清潔組件，其包括加熱機構和輸氣管道；

所述加熱機構對氣體加熱；

將所述輸氣管道與待清潔的管路導通；

所述輸氣管道將加熱后的氣體通入所述管路。

有益效果：本申請設計管路清潔組件包括加熱機構和輸氣管道，在氣體通入管路之前，加熱機構對氣體進行加熱，輸氣管道與待清潔的管路導通，以將加熱的氣體通入管路，氣體傳導熱量給粉塵類污染物，使得粉塵類污染物不易凝結，有利于管路內的防堵，由于無需拆開管路進行保養，因此有利于提高設備運行時間，減少產能損失。

附圖說明

圖1是本申請一實施例的管路清潔組件的結構示意圖；

圖2是本申請一實施例的管路清潔方法的流程示意圖。

具體實施方式

本申請的主要目的是：設計管路清潔組件包括加熱機構和輸氣管道，加熱機構對氣體進行加熱，輸氣管道接通待清潔的管路以將加熱的氣體通入管路，氣體傳導熱量給粉塵類污染物，使得粉塵類污染物不易凝結，以此有利于管路內的防堵，在整個清潔過程中，由于無需拆開管路進行保養，因此有利于提高設備運行時間，減少產能損失。

本申請的管路清潔組件可以適用于顯示裝置制造領域中含有特氣制程的制造設備，例如化學氣相沉積機、干法刻蝕機、柔性封裝機。其中，所述特氣制程通入的氣體與輸氣管道通入的氣體不同，輸氣管道通入的氣體不會與特氣制程所涉及的任何材料產生反應，于此，本申請優選輸氣管道通入的氣體為惰性氣體，例如氦(He)氣。另外，所述顯示裝置可為柔性顯示裝置，包括但不限于為OLED(Organic Light-Emitting Diode,有機發光二極管)顯示器、AMOLED(Active-matrix organic light emitting diode,有源矩陣發光二極管)顯示器。

下面將結合本申請實施例中的附圖，對本申請所提供的各個示例性的實施例的技術方案進行清楚、完整地描述。在不沖突的情況下，下述各個實施例及其技術特征可以相互組合。并且，本申請全文所采用的方向性術語，例如“上”、“下”等，均是為了更好的描述各個實施例的技術方案，并非用于限制本申請的保護范圍。