[發明專利]管路清潔組件及管路清潔方法在審
| 申請號： | 201810457115.1 | 申請日： | 2018-05-14 |
| 公開（公告）號： | CN108787645A | 公開（公告）日： | 2018-11-13 |
| 發明（設計）人： | 劉干 | 申請（專利權）人： | 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | B08B9/027 | 分類號： | B08B9/027 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 鐘子敏 |
| 地址： | 430000 湖北省武漢市東湖新技術*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 管路清潔 加熱機構 輸氣管道 氣體加熱 清潔管路 設備運行 組件包括 產能 導通 加熱 申請 清潔 | ||
1.一種管路清潔組件，其特征在于，所述管路清潔組件包括加熱機構和輸氣管道，所述加熱機構用于對氣體加熱，所述輸氣管道與待清潔的管路導通，并將加熱后的氣體通入所述管路。
2.根據權利要求1所述的管路清潔組件，其特征在于，所述加熱機構包括加熱電阻絲及螺旋狀的管道，所述加熱電阻絲設于所述管道內側，所述管道與所述輸氣管道導通。
3.根據權利要求1所述的管路清潔組件，其特征在于，所述管路清潔組件還包括調壓機構，所述調壓機構設于所述輸氣管道的一端，所述輸氣管道的另一端與所述待清潔的管路導通。
4.根據權利要求1所述的管路清潔組件，其特征在于，所述管路清潔組件還包括與所述加熱機構連接的溫控機構，所述溫控機構用于控制所述加熱機構調節對所述氣體的加熱溫度。
5.根據權利要求1所述的管路清潔組件，其特征在于，所述輸氣管道和所述待清潔的管路之間還設置有閥門。
6.根據權利要求1所述的管路清潔組件，其特征在于，所述氣體為惰性氣體。
7.一種管路清潔方法，其特征在于，所述管路清潔方法包括：
提供一管路清潔組件，其包括加熱機構和輸氣管道；
所述加熱機構對氣體加熱；
將所述輸氣管道與待清潔的管路導通；
所述輸氣管道將加熱后的氣體通入所述待清潔的管路。
8.根據權利要求7所述的管路清潔方法，其特征在于，所述加熱機構包括加熱電阻絲及螺旋狀的管道，所述加熱電阻絲設于所述管道內側，所述管道與所述輸氣管道導通。
9.根據權利要求7所述的管路清潔方法，其特征在于，所述管路清潔組件還包括調壓機構，所述調壓機構設于所述輸氣管道的一端，所述輸氣管道的另一端與所述待清潔的管路導通，
所述輸氣管道將加熱后的氣體通入所述管路，包括：所述調壓機構調節所述輸氣管道內氣體的壓強，再將所述氣體通入所述管路。
10.根據權利要求7所述的管路清潔方法，其特征在于，所述管路清潔組件還包括與所述加熱機構連接的溫控機構，
所述加熱機構對氣體加熱，包括：
所述溫控機構控制所述加熱機構調節對所述氣體的加熱溫度。
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