[發(fā)明專利]一種實現(xiàn)晶圓與MASK取放和精確定位的旋轉(zhuǎn)加熱機(jī)構(gòu)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810454513.8
• 申請日: 2018-05-14
• 公開（公告）號: CN108385075A
• 公開（公告）日: 2018-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 潘明元;陳新;祝家太
• 申請（專利權(quán)）人: 成都華聚科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/04;C23C14/22;C23C16/04;C23C16/458;C23C16/46
• 代理公司: 成都瑞創(chuàng)華盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 51270
• 代理人: 鄧瑞;辜強(qiáng)

1.一種實現(xiàn)晶圓與MASK取放和精確定位的旋轉(zhuǎn)加熱機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括雙層升降機(jī)構(gòu)(1)、晶圓定位轉(zhuǎn)筒(2)、加熱裝置(3)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(4)和定位機(jī)構(gòu)(5)，所述定位機(jī)構(gòu)(5)安裝在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(4)的底部，定位機(jī)構(gòu)(5)包括驅(qū)動氣缸(6)和定位軸(7)，所述驅(qū)動氣缸(6)通過連接座(8)與定位軸(7)連接，驅(qū)動氣缸(6)的氣缸軸與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(4)底部連接，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(4)底部設(shè)置有定位孔(9)，所述定位軸(7)與定位孔對齊且相互匹配，所述晶圓定位轉(zhuǎn)筒(2)安裝在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(4)的頂部，所述加熱裝置(3)安裝在晶圓定位轉(zhuǎn)筒(2)內(nèi)部，晶圓定位轉(zhuǎn)筒(2)頂部設(shè)置有若干定位銷(9)，所述雙層升降機(jī)構(gòu)(1)包括升降柱(10)和雙層托盤(11)，所述雙層托盤(11)安裝在升降柱(10)上，所述升降柱(10)的底端固定在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(4)頂部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種實現(xiàn)晶圓與MASK取放和精確定位的旋轉(zhuǎn)加熱機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(4)內(nèi)設(shè)置有水冷系統(tǒng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種實現(xiàn)晶圓與MASK取放和精確定位的旋轉(zhuǎn)加熱機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述雙層托盤(11)由上到下依次為MASK托盤(12)和晶圓定位托盤(13)，所述MASK托盤(12)和晶圓定位托盤(13)上設(shè)置有與定位銷(9)匹配的定位銷孔(14)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種實現(xiàn)晶圓與MASK取放和精確定位的旋轉(zhuǎn)加熱機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述雙層升降機(jī)構(gòu)(1)由金屬波紋管密封，且升降柱(10)由驅(qū)動電機(jī)控制。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種實現(xiàn)晶圓與MASK取放和精確定位的旋轉(zhuǎn)加熱機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述加熱裝置(3)頂部設(shè)置有均熱板，所述均熱板下方設(shè)置有石墨片，所述加熱裝置(3)外部設(shè)置有隔熱板。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種實現(xiàn)晶圓與MASK取放和精確定位的旋轉(zhuǎn)加熱機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述加熱裝置(3)內(nèi)設(shè)置有控制加熱溫度的溫控?zé)犭娕肌?/p>