[發(fā)明專利]過(guò)濾裝置以及過(guò)濾方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810449929.0
• 申請(qǐng)日: 2018-05-11
• 公開（公告）號(hào): CN110465126A
• 公開（公告）日: 2019-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 江宜蓁;曾志江;邱懷德
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): B01D29/11
• 分類號(hào): B01D29/11;B01D29/60;B01D29/90;B01D35/14
• 代理公司: 32243 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 顧伯興<國(guó)際申請(qǐng)>=<國(guó)際公布>=<進(jìn)入

本發(fā)明實(shí)施例提供一種過(guò)濾裝置用以過(guò)濾液體。過(guò)濾裝置包括腔體以及濾心。腔體包括進(jìn)液口、第一出液口以及第二出液口，液體用以經(jīng)由進(jìn)液口進(jìn)入腔體，其中第一出液口設(shè)置于腔體的第一端，第二出液口設(shè)置于與第一端相對(duì)的第二端。濾心設(shè)置于腔體內(nèi)。濾心包括濾心管壁，其中液體用以穿過(guò)濾心管壁以過(guò)濾成經(jīng)過(guò)濾液體。經(jīng)過(guò)濾液體經(jīng)由第一出液口流出腔體。被過(guò)濾出的未能穿過(guò)濾心管壁的排除液體經(jīng)由第二出液口流出腔體。過(guò)濾方法也被提出。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明實(shí)施例涉及一種過(guò)濾裝置以及過(guò)濾方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體工藝中，半導(dǎo)體芯片可以制造為具有例如晶體管、電阻器、電容器、電感器等的組件形成在其中的芯片。半導(dǎo)體芯片的制造可以包括許多加工步驟，這些加工步驟可以包括光刻、離子注入、摻雜、退火、封裝等的組合。許多類型的流體可以用于這些工藝中，包括水、電介質(zhì)、聚合物、光刻膠、化學(xué)蝕刻劑、酸等。這些流體被過(guò)濾并且傳遞至工藝設(shè)備，使工藝設(shè)備在制造半導(dǎo)體期間可使用這些流體。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例是針對(duì)一種過(guò)濾裝置以及過(guò)濾方法，其可使過(guò)濾裝置具有較長(zhǎng)的使用壽命以及較高的大型顆粒移除率。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，過(guò)濾裝置用以過(guò)濾液體。過(guò)濾裝置包括腔體以及濾心。腔體包括進(jìn)液口、第一出液口以及第二出液口，液體用以經(jīng)由進(jìn)液口進(jìn)入腔體，其中第一出液口設(shè)置于腔體的第一端，第二出液口設(shè)置于與第一端相對(duì)的第二端。濾心設(shè)置于腔體內(nèi)。濾心包括濾心管壁，其中液體用以穿過(guò)濾心管壁以過(guò)濾成經(jīng)過(guò)濾液體。經(jīng)過(guò)濾液體經(jīng)由第一出液口流出腔體。被過(guò)濾出的未能穿過(guò)濾心管壁的排除液體經(jīng)由第二出液口流出腔體。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，一種過(guò)濾方法包括下列步驟。使液體經(jīng)由進(jìn)液口流入過(guò)濾裝置內(nèi)以進(jìn)行過(guò)濾。使穿過(guò)過(guò)濾裝置的濾心而過(guò)濾成的經(jīng)過(guò)濾液體經(jīng)由第一出液口流出過(guò)濾裝置。使被過(guò)濾出的未能穿過(guò)所述濾心的排除液體經(jīng)由第二出液口流出過(guò)濾裝置。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，一種過(guò)濾方法包括下列步驟。使液體流入過(guò)濾裝置內(nèi)以進(jìn)行過(guò)濾。檢測(cè)液體的流速是否低于正常流速。若是，停止對(duì)液體進(jìn)行過(guò)濾并進(jìn)行異常處理或逆洗。若否，繼續(xù)對(duì)液體進(jìn)行過(guò)濾。

附圖說(shuō)明

結(jié)合附圖閱讀以下詳細(xì)說(shuō)明，會(huì)最好地理解本發(fā)明實(shí)施例的各個(gè)方面。應(yīng)注意，根據(jù)本行業(yè)中的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)務(wù)，各種特征并非按比例繪制。事實(shí)上，為論述清晰起見，可任意增大或減小各種特征的尺寸。

圖1為本發(fā)明的一實(shí)施例的一種過(guò)濾裝置的示意圖；

圖2是依照本發(fā)明的另一實(shí)施例的一種過(guò)濾裝置的示意圖；

圖3是依照本發(fā)明的一實(shí)施例的一種液體處理系統(tǒng)的示意圖；

圖4是依照本發(fā)明的另一實(shí)施例的一種液體處理系統(tǒng)的示意圖；

圖5是依照本發(fā)明的又一實(shí)施例的一種液體處理系統(tǒng)的示意圖；

圖6是依照本發(fā)明的一實(shí)施例的一種過(guò)濾方法的流程示意圖；

圖7是依照本發(fā)明的另一實(shí)施例的一種過(guò)濾方法的流程示意圖。

附圖標(biāo)號(hào)說(shuō)明

10、10’、10”：液體處理系統(tǒng)

100、100’、100a～d：過(guò)濾裝置

110：腔體

112、112’：進(jìn)液口

114、114’：第一出液口

116：第二出液口

118：墊圈

119：密封環(huán)

120、120’：濾心

122：濾心管壁