[發明專利]過濾裝置以及過濾方法

在審

• 申請號: 201810449929.0
• 申請日: 2018-05-11
• 公開（公告）號: CN110465126A
• 公開（公告）日: 2019-11-19
• 發明（設計）人: 江宜蓁;曾志江;邱懷德
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: B01D29/11
• 分類號: B01D29/11;B01D29/60;B01D29/90;B01D35/14
• 代理公司: 32243 南京正聯知識產權代理有限公司
• 代理人: 顧伯興<國際申請>=<國際公布>=<進入

1.一種過濾裝置，用以過濾液體，其特征在于，包括：

腔體，包括進液口、第一出液口以及第二出液口，所述液體用以經由所述進液口進入所述腔體，其中所述第一出液口設置于所述腔體的第一端，所述第二出液口設置于與所述第一端相對的第二端；以及

濾心，設置于所述腔體內，所述濾心包括濾心管壁，其中所述液體用以穿過所述濾心管壁以過濾成經過濾液體，所述經過濾液體經由所述第一出液口流出所述腔體，被過濾出的未能穿過所述濾心管壁的排除液體經由所述第二出液口流出所述腔體。

2.根據權利要求1所述的過濾裝置，還包括液泵，耦接所述進液口，以驅動所述液體沿著環繞所述濾心的螺旋方向在所述腔體內流動，或者所述液體的流動方向與所述濾心管壁的夾角小于45度。

3.根據權利要求1所述的過濾裝置，所述進液口設置于所述腔體的所述第一端。

4.根據權利要求1所述的過濾裝置，所述濾心為雙開式濾心，其具有彼此相對且連通的第一開放端以及第二開放端，所述第一開放端朝向所述第一端，所述第二開放端朝向所述第二端。

5.根據權利要求4所述的過濾裝置，所述進液口對應所述第一開放端設置，以使所述液體經由所述進液口流入所述濾心內，所述第一出液口設置于所述濾心管壁與所述腔體之間，所述第二出液口對應所述第二開放端設置。

6.根據權利要求1所述的過濾裝置，所述濾心為單開式濾心，其具有朝向所述第一端的開放端以及朝向所述第二端的封閉端。

7.根據權利要求6所述的過濾裝置，其中所述進液口設置于所述濾心管壁與所述腔體之間，所述第一出液口對應所述開放端設置，所述第二出液口對應所述封閉端設置。

8.根據權利要求1所述的過濾裝置，還包括：

儲液槽，耦接所述腔體并用以儲存所述液體，其中所述液體由所述儲液槽通過所述進液口而流入所述腔體，所述排除液體經由所述第二出液口流出所述腔體而流回所述儲液槽。

9.一種過濾方法，其特征在于，包括：

使液體經由進液口流入過濾裝置內以進行過濾；

使穿過所述過濾裝置的濾心而過濾成的經過濾液體經由第一出液口流出所述過濾裝置；以及

使被過濾出的未能穿過所述濾心的排除液體經由第二出液口流出所述過濾裝置。

10.一種過濾方法，其特征在于，包括：

使液體流入過濾裝置內以進行過濾；

檢測所述液體的流速是否低于正常流速；

若是，停止對所述液體進行過濾并進行異常處理或逆洗；以及

若否，繼續對所述液體進行過濾。