[發明專利]閘閥裝置和基板處理系統有效
| 申請號： | 201810442611.X | 申請日： | 2018-05-10 |
| 公開（公告）號： | CN108878245B | 公開（公告）日： | 2020-06-09 |
| 發明（設計）人： | 大森貴史;鍋山裕樹;三枝直也;伊藤毅 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322 | 代理人： | 龍淳 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 閘閥 裝置 處理 系統 | ||
1.一種閘閥裝置，其與形成于處理容器的側壁的基板的搬入搬出口連接，所述處理容器在減壓環境下對所述基板實施處理，所述閘閥裝置的特征在于，包括：
壁部，其形成有與所述搬入搬出口連通的開口部；和
楔部件，其被插入位于開口上部的槽和位于搬入搬出口上部的槽，從所述搬入搬出口上部的所述槽的上表面支承所述搬入搬出口上部，其中，所述開口上部是形成于所述壁部的所述開口部之上的部分，所述搬入搬出口上部是形成于所述處理容器的側壁的所述搬入搬出口之上的部分，
所述楔部件與形成在所述搬入搬出口上部的槽的上表面抵接，并且，在所述楔部件的下表面與形成在所述搬入搬出口上部的槽的下表面之間有間隙，
所述閘閥裝置的壁部和所述處理容器的側壁被固定部件固定。
2.如權利要求1所述的閘閥裝置，其特征在于：
所述楔部件通過向所述搬入搬出口上部的所述槽的上表面施加與所述搬入搬出口上部在所述減壓環境下撓曲的方向相反方向的力來支承所述搬入搬出口上部。
3.如權利要求1或2所述的閘閥裝置，其特征在于：
所述楔部件固定于所述開口上部的所述槽或所述搬入搬出口上部的所述槽。
4.如權利要求1或2所述的閘閥裝置，其特征在于：
具有被插入所述開口上部的多個所述槽和所述搬入搬出口上部的多個所述槽的多個所述楔部件，
在彼此相鄰的所述楔部件之間，配置有用于將所述壁部固定于所述處理容器的側壁的所述固定部件。
5.如權利要求1或2所述的閘閥裝置，其特征在于：
所述開口上部具有突出至比所述壁部以外的其它部分高的位置的突出部。
6.如權利要求1或2所述的閘閥裝置，其特征在于：
還具有加強所述開口上部的加強部件。
7.一種基板處理系統，其包括：在減壓環境下對基板實施處理的處理容器；和與形成于所述處理容器的側壁的所述基板的搬入搬出口連接的閘閥裝置，所述基板處理系統的特征在于：
所述閘閥裝置包括：
壁部，其形成有與所述搬入搬出口連通的開口部；和
楔部件，其被插入位于開口上部的槽和位于搬入搬出口上部的槽，從所述搬入搬出口上部的所述槽的上表面支承所述搬入搬出口上部，其中，所述開口上部是形成于所述壁部的所述開口部之上的部分，所述搬入搬出口上部是形成于所述處理容器的側壁的所述搬入搬出口之上的部分，
所述楔部件與形成在所述搬入搬出口上部的槽的上表面抵接，并且，在所述楔部件的下表面與形成在所述搬入搬出口上部的槽的下表面之間有間隙，
所述閘閥裝置的壁部和所述處理容器的側壁被固定部件固定。
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