[發明專利]鑭系金屬摻雜二氧化鈰納米磨粒的制備方法和應用

有效

• 申請號: 201810440980.5
• 申請日: 2018-05-10
• 公開（公告）號: CN108410424B
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 程潔;李楊;路新春
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: C09K3/14
• 分類號: C09K3/14;C09G1/02
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 趙天月

1.一種化學機械拋光方法，其特征在于，向拋光液中加入鑭系金屬摻雜的二氧化鈰納米磨粒，所述鑭系金屬摻雜的二氧化鈰納米磨粒的制備方法包括：

(1)測量二氧化鈰納米粉體的吸水率；

(2)配制鑭系金屬硝酸鹽溶液，并對所述二氧化鈰納米粉體進行等體積浸漬、陳化、烘干、焙燒和研磨，以便得到所述鑭系金屬摻雜的二氧化鈰納米磨粒，其中，所述陳化是在密閉條件下進行12h完成，所述二氧化鈰納米磨粒中負載的鑭系金屬為元素鐿，所述元素鐿的負載量為1wt％，烘干溫度100℃，焙燒溫度為400℃，升溫速度5℃/min；

(3)將磨粒加入拋光液的方法為：將一定量的磨粒加入去離子水中，超聲分散20min，使用KOH/HCl調節拋光液pH值，拋光液在化學機械拋光過程中使用磁力攪拌器持續攪拌，其中，磨粒在拋光液中的含量為0.25％，拋光壓力為2psi，拋光液pH為9.5。

2.根據權利要求1所述的拋光方法，其特征在于，所述鑭系金屬硝酸鹽為五水合硝酸鐿。

3.根據權利要求1所述的拋光方法，其特征在于，所述鑭系金屬硝酸鹽溶液的濃度為0.23mol/L-2.9mol/L。

4.根據權利要求1所述的拋光方法，其特征在于，采用所述鑭系金屬摻雜的二氧化鈰納米磨粒進行所述化學機械拋光的介質材料為二氧化硅、氮化硅或碳化硅。