[發明專利]烘烤爐及光阻預烘烤方法

在審

• 申請號: 201810439400.0
• 申請日: 2018-05-09
• 公開（公告）號: CN108614391A
• 公開（公告）日: 2018-10-02
• 發明（設計）人: 涂樂志
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂;程曉

本發明提供一種烘烤爐及光阻預烘烤方法。本發明的烘烤爐包括爐體、開關門、加熱板及多條噴氣管，當所述開關門開啟時，所述多條噴氣管用于向出入口噴出熱氣以防止烘烤腔外的氣體進入，能夠有效防止烘烤腔外的氣流影響開關門處的加熱板溫度，避免該處溫度不均造成預烘烤制程中光阻膜厚不均和線寬不均，進而有效提高顯示產品的品質。本發明的光阻預烘烤方法，使用上述烘烤爐進行光阻預烘烤，能夠有效防止烘烤腔外的氣流影響開關門處的加熱板溫度，避免該處溫度不均造成預烘烤制程中光阻膜厚不均和線寬不均，進而有效提高顯示產品的品質。

技術領域

本發明涉及顯示器制作技術領域，尤其涉及一種烘烤爐及光阻預烘烤方法。

背景技術

在顯示技術領域，液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)與有機發光二極管(Organic Light Emitting Diode，OLED)顯示器等平板顯示器已經逐步取代CRT顯示器，廣泛的應用于液晶電視、手機、個人數字助理、數字相機、計算機屏幕或筆記本電腦屏幕等。

顯示面板是LCD、OLED的重要組成部分。不論是LCD的顯示面板，還是OLED的顯示面板，通常都具有一薄膜晶體管(Thin Film Transistor，TFT)基板。以LCD的顯示面板為例，其主要是由TFT基板、彩膜(Color Filter，CF)基板以及配置于兩基板間的液晶層和密封框膠(Sealant)所構成，其成型工藝一般包括：前段陣列(Array)制程(薄膜、黃光、蝕刻及剝膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板與CF基板貼合)及后段模組組裝制程(驅動IC與印刷電路板壓合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的運動；中段Cell制程主要是在TFT基板與CF基板之間添加液晶；后段模組組裝制程主要是驅動IC壓合與印刷電路板的整合，進而驅動液晶分子轉動，顯示圖像。

目前在平板顯示工藝制程中，清洗、去水干燥、涂布、預烘烤、曝光、顯影和后烘烤是黃光制程的主要制程單元，其中，清洗單元的作用是除去玻璃基板上的顆粒(Particle)，去水干燥單元的作用是除去基板上的水分且增加表面的疏水性，涂布單元的作用是在基板上涂一層光阻，預烘烤單元(其常用溫度為90～130℃)的作用是除去光阻中的溶劑并增加光阻與基板的黏附性，曝光與顯影單元的作用是使光阻在基板上留下特定圖案，后烘烤單元的作用使圖案化的光阻在玻璃基板上進一步固化。

目前Array制程中的預烘烤爐主要是熱板式烤爐，與熱風式烤爐相比，該熱板式烤爐的優點是加熱溫度均勻性極高(溫度均勻性≤±1℃)。在預烘烤前，玻璃基板通過機械(Robot)手臂傳送到預烘烤爐的高溫腔體內，經過設定時間的烘烤后，再用Robot手臂將玻璃基板從高溫腔體中取出。該制程過程中，Robot手臂進出腔體，都需要腔體的門(Shutter)進行開與關動作，如此必然會導致腔外室溫氣流進入腔內，導致腔體靠近Shutter部位會有部分溫度降低，即造成腔體熱板局部溫度短暫不均(波動范圍±3℃)。因此傳統的預烘烤爐在預烘烤制程中，不可避免的會帶來如下缺陷：

1)、腔外室溫氣流進入高溫腔體內，擾動熱板溫度的均勻性，即造成熱板局部溫度短暫不均；

2)、熱板溫度不均，會影響玻璃基板在被熱板烘烤時，受熱不均，導致其面內光阻溶劑揮發速率不同，最后造成基板上光阻膜厚不均；

3)、熱板溫度不均，會影響玻璃基板表面的光阻固化程度有差異，最終會導致顯影后光阻圖案的線寬尺寸(CD)有差異。

然而，光阻的膜厚不均和線寬不均，最終都會影響產品的品質。

發明內容

本發明的目的在于提供一種烘烤爐，有效防止烘烤腔外的氣流影響開關門處的加熱板溫度，避免該處溫度不均造成預烘烤制程中光阻膜厚不均和線寬不均，進而提高顯示產品的品質。