[發明專利]烘烤爐及光阻預烘烤方法

在審

• 申請號: 201810439400.0
• 申請日: 2018-05-09
• 公開（公告）號: CN108614391A
• 公開（公告）日: 2018-10-02
• 發明（設計）人: 涂樂志
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂;程曉

1.一種烘烤爐，其特征在于，包括：

爐體(50)，其內部為烘烤腔(51)，所述爐體(50)的一側面設有出入口(52)；

開關門(20)，安裝于爐體(50)的出入口(52)處；

加熱板(30)，設置于所述烘烤腔(51)底部，用以對基板(90)進行加熱；

多條噴氣管(40)，設于所述烘烤腔(51)中；

當所述開關門(20)開啟時，所述多條噴氣管(40)用于向所述出入口(52)噴出熱氣以防止烘烤腔(51)外的氣體進入；

所述噴氣管(40)包括輸氣管道(41)及設于輸氣管道(41)上的噴氣嘴(42)，所述噴氣管(40)通過所述噴氣嘴(42)向外噴出熱氣并控制噴出熱氣的流向。

2.如權利要求1所述的烘烤爐，其特征在于，所述多條噴氣管(40)包括設于所述烘烤腔(51)靠近出入口(52)一側底部的第一噴氣管(1)以及設于所述烘烤腔(51)頂部并對應位于第一噴氣管(1)上方的第二噴氣管(2)；

所述第一噴氣管(1)和第二噴氣管(2)分別斜向上、斜向下朝所述出入口(52)噴出熱氣，共同用于形成第一道熱氣墻。

3.如權利要求2所述的烘烤爐，其特征在于，所述多條噴氣管(40)還包括設于所述烘烤腔(51)遠離出入口(52)一側底部的第三噴氣管(3)、設于所述烘烤腔(51)頂部并對應位于第三噴氣管(3)上方的第四噴氣管(4)以及設于所述述烘烤腔(51)頂部并位于所述第二噴氣管(2)和第四噴氣管(4)之間的第五噴氣管(5)；

所述第三噴氣管(3)和第四噴氣管(4)分別斜向上、斜向下朝所述出入口(52)噴出熱氣，共同用于形成第二道熱氣墻；

所述第五噴氣管(5)斜向下朝所述出入口(52)噴出熱氣，用于形成第三道熱氣墻。

4.如權利要求3所述的烘烤爐，其特征在于，所述第一噴氣管(1)和第二噴氣管(2)相對于水平面呈相同的角度分別斜向上、斜向下噴出熱氣；

所述第三噴氣管(3)和第四噴氣管(4)相對于水平面呈相同的角度分別斜向上、斜向下噴出熱氣；

所述第二噴氣管(2)、第五噴氣管(5)及第四噴氣管(4)相對于水平面的噴氣角度逐漸減小；

用于形成所述第一道熱氣墻、第二道熱氣墻和第三道熱氣墻的噴氣管(40)相對于各自最接近的爐體(50)內表面呈15°-60°角噴出熱氣，所述第三道熱氣墻覆蓋用于形成第一道熱氣墻的噴氣管(40)，所述第二道熱氣墻覆蓋用于形成第三道熱氣墻的噴氣管(40)。

5.如權利要求4所述的烘烤爐，其特征在于，所述第一噴氣管(1)和第二噴氣管(2)相對于水平面呈45°角分別斜向上、斜向下噴出熱氣；

所述第三噴氣管(3)和第四噴氣管(4)相對于水平面呈15°角分別斜向上、斜向下噴出熱氣；

所述第五噴氣管(5)相對于水平面呈30°角斜向下噴出熱氣。

6.如權利要求2所述的烘烤爐，其特征在于，所述多條噴氣管(40)還包括設于所述烘烤腔(51)遠離出入口(52)一側中部的第六噴氣管(6)；

所述第六噴氣管(6)的噴嘴(42)為廣角扇形噴氣嘴，用于整面推進氣流向烘烤腔(51)外運動。

7.如權利要求2所述的烘烤爐，其特征在于，所述多條噴氣管(40)還包括設于所述烘烤腔(51)遠離出入口(52)一側底部的第七噴氣管(7)；

所述第七噴氣管(7)水平朝出入口(52)噴出熱氣，用于掃除所述加熱板(30)表面的氣體。

8.如權利要求3所述的烘烤爐，其特征在于，所述多條噴氣管(40)還包括分別由第二噴氣管(2)的兩端沿爐體(50)側面垂直向下延伸至第一噴氣管(1)兩端的第八噴氣管(8)和第九噴氣管(9)、由第四噴氣管(4)的兩端沿爐體(50)側面垂直向下延伸至第三噴氣管(3)兩端的第十噴氣管(10)和第十一噴氣管(11)、由第五噴氣管(5)的兩端沿爐體(50)側面垂直向下延伸至爐體(50)下表面的第十二噴氣管(12)和第十三噴氣管(13)。