[發明專利]一種量子點全彩微顯示器件的制備方法

在審

• 申請號: 201810438905.5
• 申請日: 2018-05-09
• 公開（公告）號: CN108511390A
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發明（設計）人: 李陽;游寶貴
• 申請（專利權）人: 廣東普加福光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77
• 代理公司: 廣州駿思知識產權代理有限公司 44425
• 代理人: 潘雯瑛

本發明涉及一種量子點全彩微顯示器件的制備方法，先后利用三塊具有特定設計的掩模板作為遮罩，依次將含有紅、綠色量子點材料的樹脂膠水涂覆并固化于藍光Micro LED芯片陣列上的對應芯片上，形成紅、綠、藍三色像素的圖案化排布，并避免紅、綠膠層的相互竄擾，從而實現Micro LED的高精度全彩顯示。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，特別是涉及一種量子點全彩微顯示器件的制備方法。

背景技術

將芯片尺寸小于200微米的微型LED，規則排列于薄膜晶體二極管(TFT)上，就形成了Micro LED顯示器的主體。Micro LED顯示器具有自發光、高輝度、低耗電、像素可獨立控制及超高分辨率的特點。在此基礎上，結合納米布線技術，更可以將Micro LED顯示器制成柔性器件，從而應用到可穿戴設備上。隨著微型投影機和可穿戴設備上逐漸進入到現實的生產與生活中，Micro LED顯示器件的應用前景越來越廣泛，但隨之而來的，對Micro LED顯示器件的需求與要求也在逐漸提高，如要求Micro LED顯示器具有更高的分辨率、可實現全彩顯示、更加輕薄柔軟等。

目前基于Micro LED的微顯示應用主要為單色顯示，其可以通過相對簡單的對單色LED微芯片進行切割、轉移和貼合的技術途徑來實現，但要實現全彩顯示，來滿足實際應用的要求，技術上的難度將會大大增加。要實現全彩顯示Micro LED顯示器，目前有兩種可能的方案：第一種是分別制備出紅綠藍三基色的Micro LED微芯片，再分別轉移、貼合到TFT基板上形成圖案化，并利用IC電路單獨驅動和控制每一個Micro LED的發光行為，最終通過混色原理來實現全彩顯示。第二種方案是在藍光單色顯示的基礎上，利用光轉換材料，吸收陣列中對應芯片的藍光后分別發射紅光和綠光，來實現全彩顯示。

第一種方案工藝復雜，且技術難度大，不僅需分別制備不同光色的Micro LED，還需解決不同光色LED芯片巨量轉移到TFT基板上形成圖案化的困難，并且由于不同光色LED芯片的閾值電壓不同，還需分別使用不同的驅動電路來控制，會使得驅動電路變得更加復雜。

第二種方案的技術難度相對較低，困難主要在于：1、所需光轉化材料需滿足：尺寸在納米級別，能夠很好吸收LED芯片發射的藍光并分別高效轉化為紅、綠光，以及要有良好的穩定性；2、將紅、綠光轉換材料精確對位地貼合到芯片陣列中對應的藍光芯片上，形成特定排布圖案化。

發明內容

基于此，本發明的目的在于，提供一種量子點全彩微顯示器件的制備方法。

本發明的目的是通過以下技術方案實現的：一種量子點全彩微顯示器件的制備方法，包括以下步驟：

S1：將多個藍光Micro LED芯片轉移至襯底上，形成藍光Micro LED芯片陣列；

S2：選取第一掩模板，所述第一掩模板具有形狀和面積大小與藍光Micro LED芯片一致的開口；將第一掩模板緊貼放置于藍光Micro LED芯片陣列上，使第一掩模板的開口位置和需要涂覆紅色量子點材料的藍光Micro LED芯片位置精準對位，形成第一空腔；

S3：將含有紅色量子點材料的樹脂膠水均勻涂覆于第一掩模板上，使其順著第一掩模板的開口流到需要涂覆紅色量子點材料的藍光Micro LED芯片上，填充第一空腔；

S4：對所述含有紅色量子點材料的樹脂膠水進行固化處理，得到紅色量子點膠層；

S5：選取第二掩模板，所述第二掩模板與第一掩模板完全一致；將第二掩模板緊貼放置于第一掩模板上，使第二掩模板的開口位置與第一掩模板的開口位置對齊，形成第二空腔；

S6：將疏油性樹脂膠水均勻涂覆于第二掩模板上，使其順著第二掩模板的開口流到紅色量子點膠層上，填充第二空腔；

S7：對所述疏油性樹脂膠水進行固化處理，得到覆蓋于紅色量子點膠層上的疏油性樹脂膠層；然后依次移去第二掩模板和第一掩模板；