[發(fā)明專利]光譜輻射亮度響應度測量系統(tǒng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810435108.1 | 申請日： | 2018-05-09 |
| 公開（公告）號： | CN110470400A | 公開（公告）日： | 2019-11-19 |
| 發(fā)明（設計）人： | 孫廣尉;孫紅勝;王加朋;張玉國;楊旺林;宋春暉;吳紅霞 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京振興計量測試研究所 |
| 主分類號： | G01J5/00 | 分類號： | G01J5/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100074 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 輻射計 光譜輻射 勻光裝置 校準 亮度計 響應度 真空紫外光輻射 輻射 光輻射 預定波長 參考 對準 光學測試設備 真空紫外光源 測量系統(tǒng) 分光裝置 均勻處理 切換裝置 無油真空 真空環(huán)境 控制器 輸出 分光 入射 測量 | ||
1.一種光譜輻射亮度響應度測量系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括真空紫外光源、真空紫外單色分光裝置、真空紫外勻光裝置、參考輻射亮度計、切換裝置、控制器和無油真空倉，其中，
所述無油真空倉為所述真空紫外光源、所述真空紫外單色分光裝置、所述真空紫外勻光裝置、所述真空紫外輻射亮度計和所述切換裝置提供真空環(huán)境；
所述真空紫外光源用于發(fā)出真空紫外光輻射；
所述真空紫外單色分光裝置用于對入射的真空紫外光輻射進行分光處理，輸出預定波長的光輻射；
所述真空紫外勻光裝置用于對輸出的預定波長的光輻射進行均勻處理；
所述切換裝置用于在所述參考輻射亮度計對準所述真空紫外勻光裝置和待校準輻射計對準所述真空紫外勻光裝置之間切換，所述參考輻射亮度計和所述待校準輻射計分別對均勻處理后的光輻射進行輻射亮度值測量；
所述控制器用于根據(jù)所述參考輻射亮度計和所述待校準輻射計分別測量得到的輻射亮度值計算所述待校準輻射計的光譜輻射亮度響應度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述真空紫外光源為氘燈。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述真空紫外單色分光裝置包括真空紫外光柵、掃描旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、電機驅(qū)動控制機構(gòu)和光路偏轉(zhuǎn)機構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述真空紫外勻光裝置為真空準直漫透射鏡。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述參考輻射亮度計為光闌式真空紫外輻射亮度計。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述切換裝置為二維切換轉(zhuǎn)臺。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述真空紫外勻光裝置、所述參考輻射亮度計和所述切換裝置設置在所述無油真空倉內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述真空紫外單色分光裝置具有輸入接口和輸出接口，所述輸入接口與所述真空紫外光源連接，所述輸出接口與所述無油真空倉連接，所述無油真空倉通過所述輸入接口和所述輸出接口對所述真空紫外單色分光裝置和所述真空紫外光源抽真空以提供真空環(huán)境。
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