[發明專利]蝕刻液組合物有效
| 申請號： | 201810433733.2 | 申請日： | 2018-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN108950556B | 公開（公告）日： | 2020-10-02 |
| 發明（設計）人： | 劉仁浩;金寶衡;南基龍;金相泰;樸英哲;林大成 | 申請（專利權）人： | 東友精細化工有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/18 | 分類號： | C23F1/18;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鮮英;宋海花 |
| 地址： | 韓國全*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 蝕刻 組合 | ||
【權利要求書】：
1.一種蝕刻液組合物，其包含過硫酸鹽、無機酸、環狀胺化合物、有機酸、有機酸鹽、氨基磺酸、甘氨酸和水，
相對于蝕刻液組合物整體100重量％，
所述氨基磺酸的含量為0.1～6重量％，
所述甘氨酸的含量為0.1～5重量％，
所述蝕刻液組合物蝕刻包含銅系金屬膜的膜而不蝕刻包含銦氧化膜的膜。
2.根據權利要求1所述的蝕刻液組合物，相對于所述蝕刻液組合物整體100重量％，包含：
所述過硫酸鹽0.5～20重量％；
所述無機酸0.1～9重量％；
所述環狀胺化合物0.1～5重量％；
所述有機酸0.1～20重量％；
所述有機酸鹽0.1～10重量％；和
余量的水。
3.根據權利要求1所述的蝕刻液組合物，相對于所述蝕刻液組合物整體100重量％，包含所述氨基磺酸1～5重量％。
4.根據權利要求1所述的蝕刻液組合物，相對于所述蝕刻液組合物整體100重量％，包含所述甘氨酸0.1～3重量％。
5.根據權利要求1所述的蝕刻液組合物，所述過硫酸鹽包含選自由過硫酸鉀、過硫酸鈉和過硫酸銨組成的組中的至少一種。
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