[發(fā)明專利]大尺寸合成石英玻璃襯底、評(píng)價(jià)方法、和制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810428812.4
• 申請(qǐng)日: 2018-05-08
• 公開（公告）號(hào): CN108873599A
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石塚洋行;渡部厚;原田大實(shí);竹內(nèi)正樹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F1/60
• 分類號(hào): G03F1/60;G03F1/36
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 李躍龍

本發(fā)明涉及一種大尺寸合成石英玻璃襯底、評(píng)價(jià)方法、和制造方法。該大尺寸合成石英玻璃襯底具有至少1,000mm的對(duì)角線長度。假設(shè)在襯底表面上限定有效范圍，并且將有效范圍劃分為多個(gè)評(píng)價(jià)區(qū)域，使得所述評(píng)價(jià)區(qū)域彼此部分重疊，每個(gè)評(píng)價(jià)區(qū)域中的平坦度為至多3μm。從具有高平坦度和在襯底表面內(nèi)的最小局部梯度的石英玻璃襯底制備大尺寸光掩模。

相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用

該非臨時(shí)申請(qǐng)根據(jù)35U.S.C.§119(a)要求2017年5月8日在日本提交的專利申請(qǐng)?zhí)?017-092330的優(yōu)先權(quán)，其全部內(nèi)容通過引用并入本文。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及大尺寸合成石英玻璃襯底、評(píng)價(jià)方法以及制造方法。

背景技術(shù)

隨著通過光刻法使圖案小型化的近來進(jìn)展，對(duì)形成掩模的合成石英玻璃襯底的高平坦性的要求正在增加。在現(xiàn)有技術(shù)中，襯底平坦度的規(guī)范通常由襯底的整個(gè)前或后表面上的平坦度值確定。然而，在較大面積的掩模用于符合大尺寸顯示器如平板顯示器的領(lǐng)域中，不僅襯底應(yīng)當(dāng)在整個(gè)表面上具有低的平坦度，而且減少在襯底表面內(nèi)的平坦度變化也是重要的。專利文獻(xiàn)1公開了一種通過將襯底劃分為多個(gè)部位并比較每個(gè)部位內(nèi)的局部平坦度來評(píng)價(jià)襯底表面內(nèi)的平坦度變化的方法。

引文列表

專利文獻(xiàn)1：JP-A2004-200600(USP7,230,680)

發(fā)明內(nèi)容

形成掩模的襯底具有高平坦度是重要的。即使在整個(gè)襯底上的平坦度落入特定規(guī)范內(nèi)時(shí)，也存在整個(gè)襯底上的平坦度具有變化或不均勻性，并且該表面包括具有大起伏梯度的局部區(qū)域的情況。這導(dǎo)致沉積在襯底上的薄膜的不均勻性或者通過掩模曝光時(shí)聚焦的變化。在專利文獻(xiàn)1的方法中，將晶片表面分成多個(gè)部位，并且在評(píng)價(jià)中使用每個(gè)部位的平坦度以使形狀接近期望的形狀。由于部位不是重疊而是分開的，因此沒有評(píng)價(jià)部位之間的平坦度例如位于部位側(cè)面的局部起伏梯度。

本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種大尺寸合成石英玻璃襯底，它在該襯底表面中具有高的平坦度和最小的局部梯度，因此它可用作起始襯底以形成允許以高精度曝光的掩模；一種評(píng)價(jià)方法；和一種制造方法。

發(fā)明人已經(jīng)發(fā)現(xiàn)以下內(nèi)容。在用作形成掩模的起始襯底的大尺寸合成石英玻璃襯底中，在前表面和/或后表面上限定有效范圍。將有效范圍劃分為多個(gè)評(píng)價(jià)區(qū)域，使得評(píng)價(jià)區(qū)域彼此部分重疊?；诿總€(gè)評(píng)價(jià)區(qū)域內(nèi)的平坦度數(shù)據(jù)以及一個(gè)評(píng)價(jià)區(qū)域內(nèi)的平坦度和與所述一個(gè)評(píng)價(jià)區(qū)域重疊的另一個(gè)評(píng)價(jià)區(qū)域內(nèi)的平坦度之間的進(jìn)一步差異數(shù)據(jù)來評(píng)價(jià)平坦度是有效的。通過基于評(píng)價(jià)結(jié)果確定拋光中的材料去除量并根據(jù)確定的量局部拋光該襯底表面，獲得大尺寸合成石英玻璃襯底表面，其在襯底表面中具有高平坦度和最小局部梯度，使得它可用作起始襯底以形成允許以高精度曝光的掩模。

一方面，本發(fā)明提供一種具有前表面和后表面以及至少1,000mm的對(duì)角線長度的大尺寸合成石英玻璃襯底，其中在前表面和/或后表面上限定有效范圍，該有效范圍被劃分成多個(gè)評(píng)價(jià)區(qū)域，使得評(píng)價(jià)區(qū)域彼此部分重疊，并且每個(gè)評(píng)價(jià)區(qū)域中的平坦度為至多3μm。

在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案中，襯底是矩形的，有效范圍是通過去除從襯底表面的每側(cè)延伸10mm的帶而限定在襯底表面上的矩形范圍，該矩形范圍具有兩對(duì)相對(duì)側(cè)邊，評(píng)價(jià)區(qū)域由該有效范圍的一對(duì)相對(duì)側(cè)邊和平行于另一對(duì)相對(duì)側(cè)邊的兩條直線劃定，且沿著所述一對(duì)相對(duì)側(cè)邊具有100至300mm的寬度。

在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案中，對(duì)于每個(gè)評(píng)價(jià)區(qū)域，在該評(píng)價(jià)區(qū)域與重疊評(píng)價(jià)區(qū)域中最接近的一個(gè)之間的重疊面積為每個(gè)評(píng)價(jià)區(qū)域的面積的50％至98％。

在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案中，對(duì)于每個(gè)評(píng)價(jià)區(qū)域，在該評(píng)價(jià)區(qū)域和重疊的評(píng)價(jià)區(qū)域中最接近的一個(gè)之間的平坦度差異為至多0.8μm。