[發明專利]可進行側雙夾持器驅動方式的θ軸對齊的AOI檢測設備有效
| 申請號: | 201810426700.5 | 申請日: | 2018-05-07 |
| 公開(公告)號: | CN110361397B | 公開(公告)日: | 2021-11-30 |
| 發明(設計)人: | 安德相 | 申請(專利權)人: | HB技術有限公司 |
| 主分類號: | G01N21/956 | 分類號: | G01N21/956;G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司: | 北京冠和權律師事務所 11399 | 代理人: | 朱健;張國香 |
| 地址: | 韓國忠清*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 進行 夾持 驅動 方式 對齊 aoi 檢測 設備 | ||
本發明作為包括將檢測對象體沿著檢驗臺的縱向移動的輸送裝置和檢測所述檢測對象體的缺陷的檢測設備的AOI(Automated Optical Inspection)檢測設備,所述輸送裝置(10)包括:軌道部(100),沿著所述檢驗臺(11)的縱向配置;滑動單元(200),沿著所述軌道部(100)滑動;夾持器部(500),形成于所述滑動單元(200)的上部,用于安裝所述檢測對象體,并且,在所述夾持器部(500)與滑動單元(200)之間還形成有第1旋轉單元(300),其使得所述夾持器部(500)旋轉。
技術領域
本發明涉及AOI檢測設備,尤其,涉及一種在側雙夾持器(sidedual gripper)結構中,檢查觸摸屏時為了長周期圖案的比較而進行θ軸對齊(theta align)調整的AOI檢測設備。
背景技術
如圖1所示,以往的側雙夾持器結構的AOI檢測設備具有輸送裝置,其包括:由沿著X軸方向相對地配置的一對軌道和分別形成于所述一對軌道而沿著軌道移動的移動體及形成于所述移動體而與檢測對象體的兩端結合的夾持器。
上述的以往的AOI檢測設備的輸送裝置是不進行θ軸對齊補正的輸送方式,因此,在所述夾持器安裝的檢測對象體以扭曲的狀態被輸送,而使得檢測設備與檢測對象體之間的直角度降低。
因此,在進行長周期圖案比較時,檢測對象體與檢測設備之間的直角度降低,而發生虛假缺陷現象(False Defect)。
發明的內容
發明要解決的技術問題
為了解決上述的問題,本發明提供一種AOI檢測設備,在側雙夾持器驅動方式中進行觸摸屏的長周期圖案比較檢測時,通過觸摸屏的θ軸對齊調整,彌補以往的發生FalseDefect的問題。
但,本發明的母體并非局限于上述涉及的目的,本發明的技術領域的技術人員應當理解未涉及的其他目的。
解決問題的技術方案
為了達成上述目的,本發明提供一種AOI檢測設備,作為包括將檢測對象體沿著檢驗臺的縱向移動的輸送裝置和檢測所述檢測對象體的缺陷的檢測設備的AOI(AutomatedOptical Inspection)檢測設備,所述輸送裝置10包括:軌道部100,沿著所述檢驗臺11的縱向配置;滑動單元200,沿著所述軌道部100滑動;夾持器部500,形成于所述滑動單元200的上部,用于安裝所述檢測對象體。
并且,在所述夾持器部500與滑動單元200之間還形成有第1旋轉單元300,其使得所述夾持器部500旋轉,而調整所述檢測對象體的θ軸對齊。
由此,將所述檢測對象體的θ軸對齊調整后輸送,而使得所述檢測對象體位于中心位置的狀態下移動。
并且,所述滑動單元200形成有通過既定的驅動部件而沿著所述軌道部100移動的X軸移動板210。
并且,所述第1旋轉單元300包括:第1θ軸驅動部310,形成于所述X軸移動板210的上部;第1θ軸旋轉板320,形成于所述第1θ軸驅動部310的上部,通過第1θ軸驅動部310的驅動而旋轉。
并且,所述第1θ軸驅動部310包括:第1驅動部311,在所述X軸移動板210的上面結合,使得所述第1θ軸旋轉板320由所述檢驗臺11的縱向驅動;第1R導軌312,在所述X軸移動板210的上面結合,具有既定曲率半徑,在所述第1驅動部311的兩側對稱地形成;第1導塊313,在所述第1θ軸旋轉板320的下面結合,通過所述第1θ軸旋轉板320的移動而沿著所述第1R導軌312移動;十字頭軸承314,形成一個以上,在所述X軸移動板210的上面結合而支撐荷重。
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