[發明專利]一種類單晶籽晶的鋪設方法有效
| 申請號： | 201810419251.1 | 申請日： | 2018-05-04 |
| 公開（公告）號： | CN108531976B | 公開（公告）日： | 2020-08-07 |
| 發明（設計）人： | 歐子楊;金浩;張濤;王全志;白梟龍;汪沛淵;晏文勇;李照武;黃開發;李省平;胡穎 | 申請（專利權）人： | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
| 主分類號： | C30B11/14 | 分類號： | C30B11/14;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 羅滿 |
| 地址： | 334100 江西*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 種類 籽晶 鋪設 方法 | ||
1.一種類單晶籽晶的鋪設方法，其特征在于，包括：
在第一單晶圓棒上確定四條參考切割線，其中，所述參考切割線的四個交點均位于所述第一單晶圓棒的邊緣上，沿切割線切割以得到矩形籽晶；
在第二單晶圓棒上確定四條第一切割線，其中，所述第一切割線的兩個交點位于所述第二單晶圓棒的邊緣上，其余兩個交點位于所述第二單晶圓棒之外，沿切割線切割以得到同側圓角矩形籽晶；
在第三單晶圓棒上確定四條第二切割線，其中，所述第二切割線的一個交點位于所述第三單晶圓棒的邊緣上，其余三個交點位于所述第三單晶圓棒之外，沿切割線切割以得到三圓角矩形籽晶；
將所述三圓角矩形籽晶鋪設于坩堝底部的四角、所述同側圓角矩形籽晶鋪設于所述坩堝底部的四邊，并將所述矩形籽晶鋪設于四邊包圍的區域；
在沿切割線切割之后，還包括：
將剩余部分的單晶圓棒切割成預設寬度的籽晶窄條，將所述籽晶窄條分別鋪設于所述三圓角矩形籽晶與所述坩堝的縫隙之間、以及所述同側圓角矩形籽晶與所述坩堝的縫隙之間。
2.根據權利要求1所述的類單晶籽晶的鋪設方法，其特征在于，所述矩形籽晶具體為正方形籽晶。
3.根據權利要求2所述的類單晶籽晶的鋪設方法，其特征在于，單晶圓棒的晶向為(110)。
4.根據權利要求1所述的類單晶籽晶的鋪設方法，其特征在于，沿切割線切割，包括：
利用單晶開方機沿切割線對單晶圓棒進行切割。
5.根據權利要求1所述的類單晶籽晶的鋪設方法，其特征在于，在將剩余部分的單晶圓棒切割成預設寬度的籽晶窄條之后，還包括：
對切割得到的籽晶進行清洗。
6.根據權利要求5所述的類單晶籽晶的鋪設方法，其特征在于，對切割得到的籽晶進行清洗，包括：
利用堿溶液對切割得到的籽晶進行清洗。
7.根據權利要求5所述的類單晶籽晶的鋪設方法，其特征在于，對切割得到的籽晶進行清洗，包括：
利用酸溶液對切割得到的籽晶進行清洗。
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