[發明專利]一種掩膜板及其制備方法有效
| 申請號： | 201810416093.4 | 申請日： | 2018-05-03 |
| 公開（公告）號： | CN108546913B | 公開（公告）日： | 2021-04-27 |
| 發明（設計）人： | 王燦;張粲;楊明;岳晗;叢寧;玄明花;陳小川 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭潤湘 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 掩膜板 及其 制備 方法 | ||
1.一種掩膜板，其特征在于，包括掩膜本體和形成在所述掩膜本體上的涂層；其中：
所述涂層對有機材料的吸附性比所述掩膜本體對有機材料的吸附性差；
所述涂層為柔性抗腐蝕有機材料形成的膜層，所述涂層通過噴涂工藝形成在所述掩膜本體上；
所述涂層為特氟龍涂層；
所述掩膜本體的開口尺寸為5um；所述涂層的厚度為0.5um。
2.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述涂層包圍所述掩膜本體，所述掩膜本體的開口尺寸與所述掩膜板的實際開口尺寸之差等于所述涂層厚度的兩倍。
3.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述涂層形成在所述掩膜本體朝向蒸鍍裝置的一側。
4.一種掩膜板的制備方法，其特征在于，包括：
制備掩膜本體；
在掩膜本體上噴涂柔性抗腐蝕有機材料形成涂層，所述涂層對有機材料的吸附性比所述掩膜本體對有機材料的吸附性差；
所述涂層為特氟龍涂層；
所述掩膜本體的開口尺寸為5um；所述涂層的厚度為0.5um。
5.根據權利要求4所述的掩膜板的制備方法，其特征在于，所述在掩膜本體上噴涂柔性抗腐蝕有機材料形成涂層，包括：
在掩膜本體表面噴涂涂層，所述涂層包圍所述掩膜本體，其中，所述掩膜本體的開口尺寸與所述掩膜板的實際開口尺寸之差等于所述涂層厚度的兩倍。
6.根據權利要求4所述的掩膜板的制備方法，其特征在于，所述在掩膜本體上噴涂柔性抗腐蝕有機材料形成涂層，包括：
在掩膜本體朝向蒸鍍裝置的一側表面噴涂涂層。
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