[發明專利]一種螺旋狀超長金屬線/帶的制備方法

有效

• 申請號: 201810415754.1
• 申請日: 2018-05-03
• 公開（公告）號: CN108565273B
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 楊為家;何鑫;劉俊杰;劉銘全;劉艷怡;王諾媛;蔣庭輝;江嘉怡;沈耿哲
• 申請（專利權）人: 五邑大學
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146;H01L21/768
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 梁嘉琦

1.一種螺旋狀超長金屬線/帶的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)在襯底上旋涂光刻膠；

2)用掩膜板進行曝光顯影，在襯底上獲得螺旋狀的線/帶生長模板區域；

3)在經過步驟2)處理后的襯底上蒸鍍一層金屬薄膜；

4)在真空爐中退火，使金屬薄膜結晶，并與襯底鍵合在一起；

5)反向剝離，除去光刻膠和多余的金屬薄膜，在襯底上獲得螺旋狀的超長線/帶；

6)除去襯底，得到螺旋狀的超長線/帶；

其中，所述線/帶的寬度為微米級或納米級；

所述襯底的材質為LiGaO₂、MgO、ZnO或FeO；

步驟4)中，退火的條件控制為：真空度大于10-4Pa，退火溫度200-400℃，退火時間30-240min。

2.根據權利要求1所述的螺旋狀超長金屬線/帶的制備方法，其特征在于，所述線/帶的寬度為300-10000nm。

3.根據權利要求1所述的螺旋狀超長金屬線/帶的制備方法，其特征在于，所述線/帶的材質為Ag、Au、Pt、Cu、Fe、Al或Cr。

4.根據權利要求1所述的螺旋狀超長金屬線/帶的制備方法，其特征在于，所述襯底的直徑為2英寸以上。

5.根據權利要求1所述的螺旋狀超長金屬線/帶的制備方法，其特征在于，步驟1)中，旋涂的光刻膠的厚度為0.3-20μm。

6.根據權利要求1所述的螺旋狀超長金屬線/帶的制備方法，其特征在于，步驟3)中，采用電子束蒸發在室溫、真空大于10^-3Pa的條件下蒸鍍金屬薄膜。

7.根據權利要求1所述的螺旋狀超長金屬線/帶的制備方法，其特征在于，所述金屬薄膜的厚度為300-20000nm，金屬薄膜為選自Ag薄膜、Au薄膜、Pt薄膜、Cu薄膜、Fe薄膜、Al薄膜或Cr薄膜。

8.根據權利要求1所述的螺旋狀超長金屬線/帶的制備方法，其特征在于，步驟6)中，除去襯底的具體操作為：在真空大于10^-4Pa的條件下，將步驟5)處理后的襯底升溫至600-900℃，然后以50-100℃/min的速率快速降溫至室溫，使襯底破碎。

9.根據權利要求1所述的螺旋狀超長金屬線/帶的制備方法，其特征在于，步驟6)中，除去襯底的具體操作為：將步驟5)處理后的襯底放置在耐酸的絲網上，置于弱酸中腐蝕掉襯底。