[發明專利]調節室部件

在審

• 申請號: 201810413115.1
• 申請日: 2018-05-03
• 公開（公告）號: CN108856128A
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發明（設計）人: 阿米爾·A·亞西爾;石洪;約翰·多爾蒂;杜安·奧特卡;許林;阿芒·阿沃揚;克利夫·拉克魯瓦;吉里什·洪迪
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 李獻忠;邱曉敏

1.一種用于調節處理室的部件的裝置，其包括：

用于容納兆頻超聲波調節溶液的罐；

支架，所述支架用于在所述罐被所述兆頻超聲波調節溶液填充時，保持浸入所述兆頻超聲波調節溶液中的所述部件；

兆頻超聲波調節溶液入口系統，其用于將所述兆頻超聲波調節溶液輸送到所述罐；

具有長度的兆頻超聲波換能器頭，其包括至少一個兆頻超聲波換能器，以向所述兆頻超聲波調節溶液提供兆頻超聲波能量，其中將所述兆頻超聲波能量通過所述兆頻超聲波調節溶液輸送到所述部件；

兆頻超聲波調節溶液排放系統，其用于在高于在所述兆頻超聲波調節溶液中保持所述部件的位置的位置處從所述罐中排出所述兆頻超聲波調節溶液；以及

致動器，其用于在高于在所述兆頻超聲波調節溶液中保持所述部件的位置處將所述兆頻超聲波換能器頭移動通過所述罐。

2.根據權利要求1所述的裝置，其還包括：

用于循環所述兆頻超聲波調節溶液的泵；

脫氣膜；以及

至少一個過濾器，其用于過濾來自所述兆頻超聲波調節溶液的污染物，其中所述泵、所述脫氣膜和所述至少一個過濾器串聯流體連接在所述兆頻超聲波調節溶液排放系統和所述兆頻超聲波調節溶液入口系統之間。

3.根據權利要求2所述的裝置，其還包括用于加熱與所述泵串聯流體連接的所述兆頻超聲波調節溶液的加熱器。

4.根據權利要求1所述的裝置，其中所述兆頻超聲波調節溶液排放系統包括：

被配置成使得所述兆頻超聲波調節溶液能從所述罐流出的溢流道；以及

溝槽，其用于捕獲從所述溢流道流出的所述兆頻超聲波調節溶液。

5.根據權利要求4所述的裝置，其中所述溢流道由堰形成。

6.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述兆頻超聲波調節溶液入口系統包括至少一個入口，所述至少一個入口用于使所述兆頻超聲波調節溶液在低于在所述罐內安裝所述部件的位置的位置處流入所述罐。

7.根據權利要求1所述的裝置，其中所述罐包括非金屬側面。

8.根據權利要求1所述的裝置，其中所述致動器在基本上垂直于所述兆頻超聲波換能器頭的長度的方向上移動所述兆頻超聲波換能器頭。

9.一種用于調節晶片處理室的部件的方法，其包括：

將所述部件浸入在罐中的兆頻超聲波調節溶液中；以及

通過所述兆頻超聲波調節溶液將兆頻超聲波能量施加到所述部件上以清潔所述部件。

10.一種用于調節處理室的部件的裝置，其包括：

用于容納兆頻超聲波調節溶液的罐；

支架，所述支架用于在所述罐被所述兆頻超聲波調節溶液填充時，保持浸入所述兆頻超聲波調節溶液中的所述部件；

兆頻超聲波調節溶液入口系統，其用于將所述兆頻超聲波調節溶液輸送到所述罐；

兆頻超聲波換能器頭，其包括置于所述罐中的至少一個固定兆頻超聲波換能器，所述兆頻超聲波換能器向所述兆頻超聲波調節溶液提供兆頻超聲波能量，其中將所述兆頻超聲波能量通過所述兆頻超聲波調節溶液輸送到所述部件；以及

兆頻超聲波調節溶液排放系統，其用于在高于在所述兆頻超聲波調節溶液中保持所述部件的位置的位置處從所述罐中排出所述兆頻超聲波調節溶液。