[發明專利]一種具有多個熱絲裝置的CVD金剛石涂層設備

有效

• 申請號: 201810412850.0
• 申請日: 2018-05-03
• 公開（公告）號: CN108396308B
• 公開（公告）日: 2023-06-09
• 發明（設計）人: 夏海全;陳漢泉;孫交鍇;張平;王少良
• 申請（專利權）人: 廣東鼎泰高科精工科技有限公司
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/458;C23C16/46
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 潘俊達

1.一種具有多個熱絲裝置的CVD金剛石頭涂層設備，其特征在于：包括腔體裝置(1)、多個熱絲裝置(2)、主架裝置(3)、冷卻裝置(4)和驅動裝置(5)，所述主架裝置(3)設置于所述腔體裝置(1)內，所述主架裝置(3)包括機架(31)及均布于所述機架(31)的多個載物臺(32)，所述機架(31)與所述驅動裝置(5)的輸出端連接，多個所述載物臺(32)分別對應于多個所述熱絲裝置(2)，且多個所述載物臺(32)均與所述冷卻裝置(4)連通；

其中，所述載物臺(32)用于單獨控制一種工藝，在同一批次完成不同產品的生產；主架裝置(3)用于在豎直方向上升和下降，而且在同一個平面上進行旋轉，能自動完成轉換對應的熱絲裝置(2)。

2.如權利要求1所述的一種具有多個熱絲裝置的CVD金剛石頭涂層設備，其特征在于：所述機架(31)包括升降桿(311)和安裝平臺(312)，所述安裝平臺(312)設置于所述升降桿(311)的頂部，多個所述載物臺(32)均勻分布在所述安裝平臺(312)的邊緣，所述升降桿(311)包括圓柱(3111)及與所述圓柱(3111)連接連接為一體的齒桿(3112)，所述圓柱(3111)同軸連接有齒輪(300)。

3.如權利要求2所述的一種具有多個熱絲裝置的CVD金剛石頭涂層設備，其特征在于：所述升降桿(311)內部為空心結構；所述載物臺(32)為“V”形結構。

4.如權利要求1所述的一種具有多個熱絲裝置的CVD金剛石頭涂層設備，其特征在于：所述腔體裝置(1)包括腔體(11)、通氣管(12)和抽氣管(13)，所述通氣管(12)和所述抽氣管(13)的一端均連通于所述腔體(11)，所述通氣管(12)的另一端連通于反應氣體裝置，所述抽氣管(13)的另一端連通于抽真空裝置；所述通氣管(12)和所述抽氣管(13)均連接有閥門。

5.如權利要求1所述的一種具有多個熱絲裝置的CVD金剛石頭涂層設備，其特征在于：所述熱絲裝置(2)包括電源(21)、電極(22)和絲架(23)，所述電極(22)通過電纜(100)與所述電源(21)電連接，所述絲架(23)兩端連接所述電極(22)，所述電源(21)設置有正極(211)和負極(212)，所述電極(22)設置有正電極(221)和負電極(222)，所述正電極(221)連接所述正極(211)，所述負電極(222)連接所述負極(212)，所述絲架(23)設置有金屬球(231)和熱絲(232)，所述金屬球(231)拉直所述熱絲(232)。

6.如權利要求2所述的一種具有多個熱絲裝置的CVD金剛石頭涂層設備，其特征在于：所述冷卻裝置(4)包括供冷裝置(44)、通道(41)、缸體(42)及多個與所述缸體(42)連通的管體(43)，所述通道(41)插設于所述升降桿(311)內，所述通道(41)的一端設置有供冷裝置(44)，所述通道(41)的另一端與所述缸體(42)連通，所述缸體(42)固定于所述安裝平臺(312)的中央，多個所述管體(43)均與所述缸體(42)連通，多個所述管體(43)分別對應于多個所述載物臺(32)。

7.如權利要求6所述的一種具有多個熱絲裝置的CVD金剛石頭涂層設備，其特征在于：所述供冷裝置(44)為供水裝置。

8.如權利要求6所述的一種具有多個熱絲裝置的CVD金剛石頭涂層設備，其特征在于：所述供冷裝置(44)為空調裝置。

9.如權利要求2所述的一種具有多個熱絲裝置的CVD金剛石頭涂層設備，其特征在于：所述驅動裝置(5)包括柱體(51)、第一電機(52)、第二電機(53)和支架(54)，所述第一電機(52)和所述第二電機(53)設置在所述柱體(51)，所述支架(54)設置在所述柱體(51)的底部，所述柱體(51)的頂部設置有連接孔(511)，所述第一電機(52)輸出端連接所述齒輪(300)。

10.如權利要求9所述的一種具有多個熱絲裝置的CVD金剛石頭涂層設備，其特征在于：所述升降桿(311)穿過所述連接孔(511)與所述柱體(51)連接，所述第二電機(53)輸出端連接所述齒桿(3112)的一側。