[發明專利]一種預制棒軸向超薄層外包工藝

有效

• 申請號: 201810410330.6
• 申請日: 2018-05-02
• 公開（公告）號: CN108545925B
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 李應;陳強;陳劍;陳海斌;李慶國
• 申請（專利權）人: 成都富通光通信技術有限公司
• 主分類號: C03B37/018
• 分類號: C03B37/018
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王學強;羅滿

1.一種預制棒軸向超薄層外包工藝，其特征在于，包括如下步驟：

A、在芯棒表面外包沉積加工出包層松散體，在外包沉積加工過程中，芯棒的牽引速度大于200mm/h，并且用于外包沉積的噴燈采用十二層噴燈，從里到外的氣體構成依次為：

層一，氣體為燃燒氣體H₂和原料氣體SiCl₄的混合氣體，其中H₂的流量為7.5～8.5L/min,原料氣體的流量為56～80L/min；

層二：氣體為燃燒氣體H₂，流量為5～6L/min；

層三：氣體為隔離氣體Ar，流量為2.5～4L/min；

層四：氣體為助燃氣體O₂，流量為39～41L/min；

層五：氣體為隔離氣體Ar，流量為4～6L/min；

層六：氣體為燃燒氣體H₂，流量為40～60L/min；

層七：氣體為隔離氣體Ar，流量為5～6L/min；

層八：氣體為助燃氣體O₂，流量為65～75L/min；

層九：氣體為隔離氣體Ar，流量為6～7L/min；

層十：氣體為燃燒氣體H₂，流量為85～108L/min；

層十一：氣體為隔離氣體Ar，流量為7～8L/min；

層十二：氣體為助燃氣體O₂，流量為90～105L/min；

B、將包層松散體燒結形成包層玻璃體，燒結溫度控制在1450～1650℃，燒結速度控制在1.5～3mm/min。

2.根據權利要求1所述的預制棒軸向超薄層外包工藝，其特征在于，所述噴燈氣體構成從里到外的依次為：

層一，H₂的流量為8L/min，原料氣體的流量為70L/min；

層二：H₂的流量為5.5L/min；

層三：Ar的流量為3L/min；

層四：O₂的流量為40L/min；

層五：Ar的流量為5L/min；

層六：H₂的流量為50L/min；

層七：Ar的流量為5L/min；

層八：O₂的流量為70L/min；

層九：Ar的流量為7L/min；

層十：H₂的流量為95L/min；

層十一：Ar的流量為7.5L/min；

層十二：O₂的流量為95L/min。

3.根據權利要求1所述的預制棒軸向超薄層外包工藝，其特征在于，所述的步驟B中燒結溫度控制在1600～1650℃，燒結速度控制在2～3mm/min。

4.根據權利要求1所述的預制棒軸向超薄層外包工藝，其特征在于，所述的步驟B中燒結過程中芯棒的旋轉速度為4～6r/min。

5.根據權利要求1所述的預制棒軸向超薄層外包工藝，其特征在于，所述的步驟B中在將包層松散體燒結時通入Cl₂對包層松散體進行脫水。

6.根據權利要求5所述的預制棒軸向超薄層外包工藝，其特征在于，所述的Cl₂的流量300～800L/min。

7.根據權利要求5所述的預制棒軸向超薄層外包工藝，其特征在于，所述的步驟B中在通入Cl₂對包層松散體進行脫水的同時還通入有He。

8.根據權利要求7所述的預制棒軸向超薄層外包工藝，其特征在于，所述He的流量為20～40L/min。

9.一種光纖，其特征在于，包含采用權利要求1至8任一項所述預制棒軸向超薄層外包工藝制成的包層。