[發(fā)明專利]一種用于半導(dǎo)體的不銹鋼零部件的V型槽的加工方法

有效

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• 申請日: 2018-05-02
• 公開（公告）號: CN110434549B
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫彬;邵佳;張偉;黃國峰;康樂樂;邵莎莎
• 申請（專利權(quán)）人: 靖江佳仁半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: B23P15/00
• 分類號: B23P15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于半導(dǎo)體的不銹鋼零部件的V型槽的加工方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)前期準(zhǔn)備：銑床加工處理不銹鋼鋼板，不銹鋼鋼板的上表面與下表面的平面度、平行度要求在0.1mm內(nèi)；

(2)側(cè)面鉆孔：用深孔鉆床在不銹鋼鋼板的上表面與下表面之間的兩側(cè)側(cè)面加工若干深鉆孔；

(3)粗加工V型槽：先將不銹鋼鋼板豎直固定在L板工裝上，再固定到機床工裝臺上；旋轉(zhuǎn)工作臺90°，使V型槽刀具的側(cè)刃與不銹鋼鋼板待加工表面垂直；旋轉(zhuǎn)刀具做上下直線運動進行切削加工V型槽，將V型槽的加工完成后；旋轉(zhuǎn)工作臺270°，按重復(fù)上述的步驟，執(zhí)行程序切削相反方向的V型槽的；

(4)固溶時效處理：將不銹鋼鋼板放置在在真空爐中，加熱使其將溫度升至1020℃±15℃，冷卻后，將其放置在回火爐中，加熱使其溫度升至760℃±10℃，保持90min；在1h內(nèi)將不銹鋼鋼板冷卻到15℃，保持30min，再將其加熱到565℃±10℃后，空氣冷卻90min；

(5)精加工V型槽：將步驟(3)中V型槽刀具換為刀刃為48°的成型刀，重復(fù)步驟(3)，精加工V型槽；

(6)加工水域恒溫孔槽：調(diào)整相應(yīng)電參數(shù)脈寬大于20μs，脈沖間隙大于6倍脈寬切割零件，留余量0.02mm，分兩次精修余修，慢走絲線割水域恒溫孔槽；

(7)修正校平不銹鋼鋼板：在50T的壓力機上，將加熱溫度加熱到HV320-HV350之間，裝入不銹鋼鋼板下壓，在此溫度下保壓60秒至80秒；控制校正后不銹鋼鋼板平行度在0.1mm以內(nèi)；

(8)檢測不銹鋼鋼板尺寸：用仿形規(guī)檢測不銹鋼V型槽大小，三次元檢測零件平行度、孔位及孔的大小為Φ5±0.1、形位公差0.2以內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體的不銹鋼零部件的V型槽的加工方法，其特征在于，步驟(2)中，在不銹鋼鋼板一側(cè)側(cè)面鉆孔時，先鉆孔30mm；再用內(nèi)冷噴射鉆頭，將噴射鉆頭埋入已加工的引孔25mm時，打開深孔鉆床的主軸轉(zhuǎn)速開關(guān)、機床內(nèi)冷開關(guān)，抽吸切屑雜質(zhì)排出；且鉆孔時需逐遞加長鉆頭長度，直到超過不銹鋼鋼板中心厚度的一半以上；在另一側(cè)相對位置按上述步驟加工，直到不銹鋼鋼板完全貫通。