[發(fā)明專利]一種微流控芯片及其制備方法

在審

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• 申請日: 2018-05-02
• 公開（公告）號: CN108371962A
• 公開（公告）日: 2018-08-07
• 發(fā)明（設計）人: 鄧楊;胡越銘
• 申請（專利權(quán)）人: 鄧楊
• 主分類號: B01L3/00
• 分類號: B01L3/00;B01L7/00
• 代理公司: 北京世譽鑫誠專利代理事務所(普通合伙) 11368
• 代理人: 孫國棟

本發(fā)明涉及一種微流控芯片，包括電極層和微流道層，微流道層位于電極層上方，電極層至少包括微加熱電極，微加熱電極用于測量溫度和控制溫度。該微流控芯片了實現(xiàn)對針對位置的加熱和測溫，提高了微流控測試的準確性。

技術(shù)領域

本發(fā)明涉及體外快速診斷領域，尤其涉及一種微流控芯片及其制備方法。

背景技術(shù)

微流控芯片又稱為芯片實驗室(Lab-on-a-chip)，依托微納加工技術(shù)(MEMS)，微流控技術(shù)在生物醫(yī)學、有機合成、微反應器、化學分析等領域扮演著越來越重要的角色。微流控技術(shù)可以將復雜、繁瑣、龐大的實驗室簡化為一張尺寸極小的微流控芯片，這一技術(shù)的實現(xiàn)為檢測設備的微型化提供了可能，同時也為可穿戴設備血液、尿液、汗液、唾液等的體液檢測提供的強有力的技術(shù)支撐?；谖⒘骺丶夹g(shù)的可穿戴設備的芯片需要具有一定柔性和更小型化。另外，隨著檢測龐大數(shù)量的增加，微流控技術(shù)采用微流控芯片作為一次性檢查卡片需要檢查準確性不斷提高，而量產(chǎn)成本需要不斷降低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足之處。

為實現(xiàn)上述目的，第一方面本發(fā)明提供一種微流控芯片，包括電極層和微流道層，微流道層位于電極層上方，電極層至少包括微加熱電極，微加熱電極用可測量溫度和控制溫度。

優(yōu)選地，微流道層包括流道層，流道層包括進液口，流道，藥劑固定區(qū)，測試區(qū)，其中，進液口通過流道依次連接藥劑固定區(qū)和測試區(qū)。

優(yōu)選地，電極層包括基底，電極層包括基底，微加熱電極位于基底上，微加熱電極上方依次設置有介電層和測試電極。

優(yōu)選地，電極層還包括基底和測試電極，在基底的上表面存在互斥的第一預設區(qū)域和和第二預設區(qū)域，微加熱電極位第一預設區(qū)域，測試電極位于第二預設區(qū)域。

優(yōu)選地，微加熱電極的材料為鉑，金，銅或者鋁。

優(yōu)選地，介電層的材料為介質(zhì)電無機薄膜或者有機高分子薄膜。

進一步優(yōu)選地，介質(zhì)電無機薄膜選用二氧化硅或氮硅化合物SiNx薄膜。

第二方面本發(fā)明提供一種微流控芯片的制備方法，包括：將基片清洗并烘干；在基片上制備微加熱電極和測試電極，得到電極層；制備微流道；對微流道的進液和排液位置進行開孔，得到帶有開孔層微流道層；將電極層和微流道層進行鍵合，得到微流控芯片。

優(yōu)選地，在基片上制備微加熱電極和測試電極，得到電極層，具體包括：在基片上制備微加熱電極；在微加熱電極上制備介電層介電薄膜；在介電層介電薄膜上制備測試電極，得到電極層。

優(yōu)選地，微加熱電極通過絲網(wǎng)印刷，磁控或者電子束蒸發(fā)的方式制備。

優(yōu)選地，其特征在于，介電層介電薄膜通過等離子體增強化學氣相沉積，電子束蒸發(fā)鍍膜，采用原子層沉積，旋涂，或者采用噴涂的方式制備。

優(yōu)選地，測試電極通過絲網(wǎng)印刷，磁控或者電子束蒸發(fā)鍍膜的方式制備。

優(yōu)選地，用聚四氟乙烯溶液對所述測試電極進行涂層疏水化處理。

本發(fā)明實施例通過在微流控芯片中加入微加熱電極，實現(xiàn)對針對位置的加熱和測溫，提高微流控測試的準確性，針對該微流控芯片，可以利用現(xiàn)有工藝設備進行低成本量產(chǎn)。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例提供的一種電極層的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實施例提供的一種流道層的結(jié)構(gòu)俯視圖；

圖3為本發(fā)明實施例提供的一種開孔層的結(jié)構(gòu)俯視圖；

圖4為本發(fā)明實施例提供的一種單獨的流道層的結(jié)構(gòu)示意圖；