[發(fā)明專利]具有微結(jié)構(gòu)的器件及其制作方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810404729.3
• 申請日: 2018-04-28
• 公開（公告）號: CN110407157A
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李守軍;夏振
• 申請（專利權(quán)）人: 張家港康得新石墨烯應(yīng)用科技有限公司
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00;B81B1/00;B82Y40/00
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 韓建偉;霍文娟

本申請?zhí)峁┝艘环N具有微結(jié)構(gòu)的器件及其制作方法。該制作方法包括：步驟S1，在基底上設(shè)置氣溶膠態(tài)、懸浮的液滴態(tài)和/或氣態(tài)的光固化樹脂，形成光固化樹脂層；步驟S2，按照預(yù)定圖案對光固化樹脂進(jìn)行固化；步驟S3，去除未固化的光固化樹脂，固化的光固化樹脂形成微結(jié)構(gòu)。該制作方法中，由于未固化的光固化樹脂為氣態(tài)、懸浮的液滴態(tài)和/或氣溶膠態(tài)，所以，無需進(jìn)行刻蝕就能去除，過程簡單，且避免了采用刻蝕法產(chǎn)生對環(huán)境有害的污水的問題，且去除的未固化的氣態(tài)、懸浮的液滴態(tài)和/或氣溶膠態(tài)的光固化樹脂可以回收利用，產(chǎn)品利用率比較高。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及材料領(lǐng)域，具體而言，涉及一種具有微結(jié)構(gòu)的器件及其制作方法。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中，通常采用刻蝕法制作微結(jié)構(gòu)，該方法使用的溶劑等材料對環(huán)境不友好，且難以控制刻蝕精度。

發(fā)明內(nèi)容

本申請的主要目的在于提供一種具有微結(jié)構(gòu)的器件及其制作方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的微結(jié)構(gòu)的制作需要刻蝕的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本申請的一個方面，提供了一種具有微結(jié)構(gòu)的器件的制作方法，該制作方法包括：步驟S1，在基底上設(shè)置氣溶膠態(tài)、懸浮的液滴態(tài)和/或氣態(tài)的光固化樹脂，形成光固化樹脂層；步驟S2，按照預(yù)定圖案對上述光固化樹脂進(jìn)行固化；步驟S3，去除未固化的上述光固化樹脂，固化的上述光固化樹脂形成微結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步地，上述制作方法還包括：步驟S4，重復(fù)上述步驟S1至上述步驟S3，沿遠(yuǎn)離上述基底的方向在上述基底上依次形成多個疊置上述微結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步地，上述步驟S1中，采用霧化方式在上述基底上設(shè)置上述光固化樹脂。

進(jìn)一步地，上述步驟S2包括：將掩膜版設(shè)置在上述光固化樹脂層的遠(yuǎn)離上述基底的一側(cè)，上述掩膜版具有預(yù)定圖案；采用UV光從上述掩膜版的遠(yuǎn)離上述光固化樹脂層的一側(cè)對上述光固化樹脂層進(jìn)行固化。

進(jìn)一步地，上述掩膜版具有交替設(shè)置的遮光部與透光部。

進(jìn)一步地，上述步驟S2中，采用單點(diǎn)激光固化的方式實(shí)施上述固化。

進(jìn)一步地，上述步驟S3中，采用惰性氣體吹掃法去除未固化的上述光固化樹脂。

進(jìn)一步地，上述制作方法在真空環(huán)境下進(jìn)行。

進(jìn)一步地，上述光固化樹脂層的厚度在0.001～100μm之間，優(yōu)選上述微結(jié)構(gòu)的線寬在0.001～1000μm之間。

根據(jù)本申請的另一方面，提供了一種具有微結(jié)構(gòu)的器件，該器件采用任一種上述的具有微結(jié)構(gòu)的器件的制作方法制作得到。

應(yīng)用本申請的技術(shù)方案，該制作方法中，通過在基底上設(shè)置氣態(tài)、懸浮的液滴態(tài)和/或氣溶膠態(tài)光固化樹脂，然后按照預(yù)定的圖案對光固化樹脂進(jìn)行固化，即光固化樹脂層中的有些區(qū)域發(fā)生固化，有些區(qū)域未發(fā)生固化；最后，去除未發(fā)生固化的氣態(tài)、懸浮的液滴態(tài)和/或氣溶膠態(tài)的光固化樹脂，剩余的發(fā)生固化的光固化樹脂形成了微結(jié)構(gòu)。該制作方法中，由于未固化的光固化樹脂為氣態(tài)、懸浮的液滴態(tài)和/或氣溶膠態(tài)，所以，無需進(jìn)行刻蝕就能去除，過程簡單，且避免了采用刻蝕法產(chǎn)生對環(huán)境有害的污水的問題，且去除的未固化的氣態(tài)、懸浮的液滴態(tài)和/或氣溶膠態(tài)的光固化樹脂可以回收利用，產(chǎn)品利用率比較高。

附圖說明

構(gòu)成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本申請的進(jìn)一步理解，本申請的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本申請，并不構(gòu)成對本申請的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1至圖3示出了本申請的一種具有微結(jié)構(gòu)的器件的制作過程的結(jié)構(gòu)示意圖；以及

圖4與圖5示出了本申請的另一種具有微結(jié)構(gòu)的器件的制作過程的部分結(jié)構(gòu)示意圖。

其中，上述附圖包括以下附圖標(biāo)記：