[發明專利]具有微結構的器件及其制作方法在審
| 申請號： | 201810404729.3 | 申請日： | 2018-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN110407157A | 公開（公告）日： | 2019-11-05 |
| 發明（設計）人： | 李守軍;夏振 | 申請（專利權）人： | 張家港康得新石墨烯應用科技有限公司 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00;B81B1/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人： | 韓建偉;霍文娟 |
| 地址： | 215634 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光固化樹脂 氣溶膠態 微結構 未固化 液滴 去除 懸浮 制作 刻蝕 固化 光固化樹脂層 產品利用率 固化樹脂 回收利用 預定圖案 基底 污水 申請 | ||
1.一種具有微結構的器件的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：
步驟S1，在基底(10)上設置氣溶膠態、懸浮的液滴態和/或氣態的光固化樹脂，形成光固化樹脂層(20)；
步驟S2，按照預定圖案對所述光固化樹脂進行固化；以及
步驟S3，去除未固化的所述光固化樹脂，固化的所述光固化樹脂形成微結構(21)。
2.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述制作方法還包括：
步驟S4，重復所述步驟S1至所述步驟S3，沿遠離所述基底(10)的方向在所述基底(10)上依次形成多個疊置所述微結構(21)。
3.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述步驟S1中，采用霧化方式在所述基底(10)上設置所述光固化樹脂。
4.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述步驟S2包括：
將掩膜版(30)設置在所述光固化樹脂層(20)的遠離所述基底(10)的一側，所述掩膜版(30)具有預定圖案；以及
采用UV光(40)從所述掩膜版(30)的遠離所述光固化樹脂層(20)的一側對所述光固化樹脂層(20)進行固化。
5.根據權利要求4所述的制作方法，其特征在于，所述掩膜版(30)具有交替設置的遮光部(32)與透光部(31)。
6.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述步驟S2中，采用單點激光固化的方式實施所述固化。
7.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述步驟S3中，采用惰性氣體吹掃法去除未固化的所述光固化樹脂。
8.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述制作方法在真空環境下進行。
9.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述光固化樹脂層(20)的厚度在0.001～100μm之間，優選所述微結構的線寬在0.001～1000μm之間。
10.一種具有微結構的器件，其特征在于，所述器件采用權利要求1至9中任一項所述的具有微結構的器件的制作方法制作得到。
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