[發(fā)明專利]支撐治具及干蝕刻設(shè)備結(jié)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810388427.1
• 申請(qǐng)日: 2018-04-26
• 公開（公告）號(hào): CN108493136A
• 公開（公告）日: 2018-09-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮文杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01J37/32
• 代理公司: 深圳市德力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44265
• 代理人: 林才桂;李雯雯

本發(fā)明提供一種支撐治具及干蝕刻設(shè)備結(jié)構(gòu)。該支撐治具包括底座(11)、沿豎直方向設(shè)置并與底座(11)固定連接的第一支撐杠(13)、沿豎直方向嵌套在第一支撐杠(13)內(nèi)并與第一支撐杠(13)活動(dòng)連接的第二支撐杠(15)以及沿豎直方向設(shè)置并與第二支撐杠(15)固定連接的支撐端頭(17)。該支撐治具應(yīng)用于干蝕刻設(shè)備內(nèi)，能夠在更換干蝕刻設(shè)備內(nèi)機(jī)械手臂上的橡膠圈、拆裝螺絲時(shí)支撐機(jī)械手臂，防止機(jī)械手臂受力后發(fā)生水平度異常，節(jié)省人力，提高作業(yè)效率；所述第二支撐杠(15)能夠相對(duì)于第一支撐杠(13)做上下運(yùn)動(dòng)來調(diào)節(jié)支撐高度，且第二支撐杠(15)上標(biāo)有表示高度的刻度線(151)，借助于刻度線(151)即可確認(rèn)機(jī)械手臂的高度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示器制作技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種支撐治具及干蝕刻設(shè)備結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

隨著信息社會(huì)的發(fā)展，人們對(duì)顯示裝置的需求得到了增長(zhǎng)，推動(dòng)了液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)以及有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(Organic Light EmittingDiode，OLED)行業(yè)的快速發(fā)展。

不論是LCD顯示器還是OLED顯示器，均包括一薄膜晶體管陣列基板(Thin FilmTransistor Array Substrate，TFT Array Substrate)，蝕刻是制作TFT陣列基板過程中的一個(gè)重要制程。蝕刻工藝根據(jù)蝕刻劑的物理狀態(tài)分為干蝕刻(Dry Etch)工藝和濕蝕刻(WetEtch)工藝，其中干蝕刻工藝是通過激發(fā)或解離蝕刻氣體分子得到等離子體，利用等離子體做射頻(Radio Frequency，RF)轟擊對(duì)薄膜進(jìn)行蝕刻的技術(shù)。

干蝕刻制程在干蝕刻設(shè)備內(nèi)進(jìn)行。請(qǐng)同時(shí)參閱圖1與圖2，現(xiàn)有的干蝕刻設(shè)備在真空傳送腔100內(nèi)裝有用于傳送玻璃基板的機(jī)器人200，所述機(jī)器人200上設(shè)有數(shù)個(gè)細(xì)長(zhǎng)的桿狀的機(jī)械手臂201，所述機(jī)械手臂201是承載玻璃基板的主要部件。每一機(jī)械手臂201的上表面上用螺絲固定有多個(gè)橡膠圈(Pad O-ring)202，依靠所述多個(gè)橡膠圈202產(chǎn)生摩擦力來保證機(jī)械手臂201在傳送玻璃基板的過程中不會(huì)發(fā)生玻璃基板相對(duì)機(jī)械手臂201滑動(dòng)的現(xiàn)象。

所述機(jī)械手臂201上的橡膠圈202使用一段時(shí)間后要進(jìn)行更換。由于橡膠圈202是用螺絲固定在機(jī)械手臂201上的，要更換橡膠圈202，就必需拆裝螺絲。在現(xiàn)有的技術(shù)條件下，當(dāng)更換機(jī)械手臂201上的橡膠圈202、拆裝螺絲時(shí)，需要人工用手托住機(jī)械手臂201的底部，防止機(jī)械手臂201受力后水平度發(fā)生異常變化，不僅耗費(fèi)人力，而且作業(yè)效率較低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種支撐治具，能夠在更換干蝕刻設(shè)備內(nèi)機(jī)械手臂上的橡膠圈、拆裝螺絲時(shí)支撐機(jī)械手臂，防止機(jī)械手臂受力后發(fā)生水平度異常，節(jié)省人力，提高作業(yè)效率。

本發(fā)明的另一目的在于提供一種干蝕刻設(shè)備結(jié)構(gòu)，能夠在更換機(jī)械手臂上的橡膠圈、拆裝螺絲時(shí)支撐機(jī)械手臂，防止機(jī)械手臂受力后發(fā)生水平度異常，節(jié)省人力，提高作業(yè)效率。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明首先提供一種支撐治具，包括底座、沿豎直方向設(shè)置并與所述底座固定連接的第一支撐杠、沿豎直方向嵌套在所述第一支撐杠內(nèi)并與所述第一支撐杠活動(dòng)連接的第二支撐杠以及沿豎直方向設(shè)置并與所述第二支撐杠固定連接的支撐端頭。

所述第二支撐杠上標(biāo)有表示高度的刻度線。

所述底座與第一支撐杠是一體的；所述第二支撐杠與支撐端頭是一體的；所述支撐端頭開設(shè)有一頂部開放、底部封閉的通槽。

所述第一支撐杠開設(shè)有一頂部開放、底部封閉的盲孔，所述第二支撐杠嵌套在所述盲孔內(nèi)，且所述第二支撐杠與所述盲孔之間為間隙配合。

所述第一支撐杠與第二支撐杠通過止固螺絲進(jìn)行活動(dòng)連接；