[發明專利]支撐治具及干蝕刻設備結構

在審

• 申請號: 201810388427.1
• 申請日: 2018-04-26
• 公開（公告）號: CN108493136A
• 公開（公告）日: 2018-09-04
• 發明（設計）人: 馮文杰
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01J37/32
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂;李雯雯

1.一種支撐治具，其特征在于，包括底座(11)、沿豎直方向設置并與所述底座(11)固定連接的第一支撐杠(13)、沿豎直方向嵌套在所述第一支撐杠(13)內并與所述第一支撐杠(13)活動連接的第二支撐杠(15)以及沿豎直方向設置并與所述第二支撐杠(15)固定連接的支撐端頭(17)。

2.如權利要求1所述的支撐治具，其特征在于，所述第二支撐杠(15)上標有表示高度的刻度線(151)。

3.如權利要求1所述的支撐治具，其特征在于，所述底座(11)與第一支撐杠(13)是一體的；所述第二支撐杠(15)與支撐端頭(17)是一體的；所述支撐端頭(17)開設有一頂部開放、底部封閉的通槽(171)。

4.如權利要求1所述的支撐治具，其特征在于，所述第一支撐杠(13)開設有一頂部開放、底部封閉的盲孔(131)，所述第二支撐杠(15)嵌套在所述盲孔(131)內，且所述第二支撐杠(15)與所述盲孔(131)之間為間隙配合。

5.如權利要求4所述的支撐治具，其特征在于，所述第一支撐杠(13)與第二支撐杠(15)通過止固螺絲(19)進行活動連接；

所述止固螺絲(19)穿過所述盲孔(131)的孔壁抵住所述第二支撐杠(15)，能夠實現所述第一支撐杠(13)與第二支撐杠(15)的連接；所述止固螺絲(19)穿過所述盲孔(131)的孔壁放松所述第二支撐杠(15)，能夠允許所述第二支撐杠(15)相對于所述第一支撐杠(13)做上下運動。

6.一種干蝕刻設備結構，其特征在于，包括：

真空傳送腔(3)；

設于所述真空傳送腔(3)內用于傳送基板的機器人(5)；所述機器人(5)包括數個用于承載基板的機械手臂(51)，所述機械手臂(51)上表面上固定有多個橡膠圈(52)；

以及設于所述真空傳送腔(3)內的支撐治具(1)；所述支撐治具(1)包括底座(11)、沿豎直方向設置并與所述底座(11)固定連接的第一支撐杠(13)、沿豎直方向嵌套在所述第一支撐杠(13)內并與所述第一支撐杠(13)活動連接的第二支撐杠(15)以及沿豎直方向設置并與所述第二支撐杠(15)固定連接的支撐端頭(17)；

更換所述機械手臂(51)上的橡膠圈(52)時，所述支撐治具(1)置于所述機械手臂(51)下方以支撐該機械手臂(51)。

7.如權利要求6所述的干蝕刻設備結構，其特征在于，所述第二支撐杠(15)上標有表示高度的刻度線(151)。

8.如權利要求6所述的干蝕刻設備結構，其特征在于，所述底座(11)與第一支撐杠(13)是一體的；所述第二支撐杠(15)與支撐端頭(17)是一體的；所述支撐端頭(17)開設有一頂部開放、底部封閉的通槽(171)，所述通槽(171)的寬度與所述機械手臂(51)的寬度吻合。

9.如權利要求6所述的干蝕刻設備結構，其特征在于，所述第一支撐杠(13)開設有一頂部開放、底部封閉的盲孔(131)，所述第二支撐杠(15)嵌套在所述盲孔(131)內，且所述第二支撐杠(15)與所述盲孔(131)之間為間隙配合。

10.如權利要求9所述的干蝕刻設備結構，其特征在于，所述第一支撐杠(13)與第二支撐杠(15)通過止固螺絲(19)進行活動連接；

所述止固螺絲(19)穿過所述盲孔(131)的孔壁抵住所述第二支撐杠(15)，能夠實現所述第一支撐杠(13)與第二支撐杠(15)的連接；所述止固螺絲(19)穿過所述盲孔(131)的孔壁放松所述第二支撐杠(15)，能夠允許所述第二支撐杠(15)相對于所述第一支撐杠(13)做上下運動。