[發明專利]物理量傳感器及其制造方法和設備、電子設備以及移動體

在審

• 申請號: 201810367516.8
• 申請日: 2018-04-23
• 公開（公告）號: CN108871306A
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發明（設計）人: 古畑誠;金本啟
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/5719
• 分類號: G01C19/5719;G01C19/5733;G01C19/5769
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 張永明;玉昌峰

本發明涉及物理量傳感器及其制造方法和設備、電子設備以及移動體。物理量傳感器具有驅動部和將上述驅動部支承成能夠在第一方向上位移的驅動彈簧部，上述驅動彈簧部形成為蛇行形狀，具有在與上述第一方向交叉的第二方向上延伸的多個梁部，上述多個梁部中至少一個梁部具有相對于上述驅動彈簧部的其他部分而言第三方向的厚度薄的薄壁部，該第三方向與上述第一方向以及上述第二方向交叉。

技術領域

本發明涉及物理量傳感器、物理量傳感器的制造方法、物理量傳感器設備、電子設備以及移動體。

背景技術

以往，作為陀螺儀傳感器(角速度傳感器)，已知有專利文獻1所記載的結構。該專利文獻1所記載的陀螺儀傳感器具有：能夠在X軸方向上振動的框架；配置于框架的內側的檢驗質量體；一個橫梁，連結檢驗質量體和框架，以使檢驗質量體能夠相對于框架在Y軸方向上位移；以及與檢驗質量體相對配置的感應電極。

在這種陀螺儀傳感器中，在使框架與檢驗質量體一起在X軸方向上振動的狀態(以下將該狀態稱為“驅動振動模式”)下施加繞Z軸(與X軸以及Y軸這兩軸正交的軸)的角速度時，通過科里奧利力使檢驗質量體在Y軸方向上位移，檢驗質量體與感應電極之間的靜電電容變化。

因此，能夠基于靜電電容的變化來檢測角速度。

另外，在專利文獻1的陀螺儀傳感器中，指出了如下的問題：當橫梁的截面形狀像平行四邊形那樣地相對于矩形產生偏移時，在驅動振動模式下，框架以及檢驗質量體不僅在X軸方向上振動還在Y軸方向上振動(即，產生Y軸方向的無用振動(正交振動))，角速度的檢測特性降低。

因此，在專利文獻1中，提出了如下方案：通過激光照射對橫梁的表面進行激光燒蝕(laser ablating)加工(除去)，或者，在橫梁上堆積(deposition)材料，由此降低無用振動(正交振動)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特表2002-540406號公報

但是，存在如下問題：對橫梁的表面進行激光燒蝕(laser ablating)，通過在橫梁上堆積(deposition)材料而引起的無用振動(正交振動)的降低不充分。

發明內容

本發明的目的在于提供一種能夠降低無用振動的物理量傳感器、物理量傳感器的制造方法、物理量傳感器設備、電子設備以及移動體。

這樣的目的可通過下述的本發明來實現。

本發明的物理量傳感器的特征在于，包括：驅動部；以及支承上述驅動部的彈簧部，上述彈簧部包括：多個梁部，長邊方向沿著與上述驅動部和彈簧部所排列的第一方向正交的第二方向；以及折回部，將上述多個梁部中的相鄰的兩個梁部的同一側的端部彼此連接，上述多個梁部中的至少一個梁部包括與其他梁部相比沿著第三方向的厚度薄的薄壁部，所述第三方向與上述第一方向以及上述第二方向正交。

這樣一來，通過在彈簧部設置薄壁部，彈簧部的第三方向的振動成分減少，能夠降低驅動部向第一方向以外的位移。

即，能夠降低驅動部的無用振動(正交振動)。

在本發明的物理量傳感器中，優選的是，上述薄壁部是通過在上述至少一個梁部的上述第三方向的一側形成凹部而設置的。

由此，薄壁部的形成容易。

在本發明的物理量傳感器中，優選的是，在從上述第二方向俯視觀察下，上述多個梁部的截面形狀形成為長條形狀，并且，上述長條形狀的長邊相對于上述第三方向傾斜。

這樣的截面形狀是由于加工誤差、加工裝置的特性等而容易形成的形狀。

另外，在這樣的截面形狀中，彈簧部容易包括第三方向的振動成分，因此本發明的效果更為顯著。