[發(fā)明專利]物理量傳感器及其制造方法和設(shè)備、電子設(shè)備以及移動體

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810367516.8
• 申請日: 2018-04-23
• 公開（公告）號: CN108871306A
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 古畑誠;金本啟
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/5719
• 分類號: G01C19/5719;G01C19/5733;G01C19/5769
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11240
• 代理人: 張永明;玉昌峰

1.一種物理量傳感器，其特征在于，包括：

驅(qū)動部；以及

彈簧部，支承所述驅(qū)動部，

所述彈簧部包括：

多個梁部，長邊方向沿著與所述驅(qū)動部和所述彈簧部所排列的第一方向正交的第二方向；以及

折回部，將所述多個梁部中的相鄰的兩個梁部的同一側(cè)的端部彼此連接，

所述多個梁部中的至少一個梁部包括與其他梁部相比沿著第三方向的厚度薄的薄壁部，所述第三方向與所述第一方向以及所述第二方向正交。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述薄壁部是通過在所述至少一個梁部的所述第三方向的一側(cè)形成凹部而設(shè)置的。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

在從所述第二方向俯視觀察下，所述多個梁部的截面形狀形成為長條形狀，

并且，所述長條形狀的長邊相對于所述第三方向傾斜。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述至少一個梁部是位于所述長邊所傾斜的方向的前端側(cè)的梁部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述薄壁部設(shè)置于所述多個梁部中的至少兩個以上梁部。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的物理量傳感器，其特征在于，

設(shè)置于所述至少兩個以上梁部的所述薄壁部的所述厚度彼此相等。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述梁部的沿著所述第一方向的寬度比相鄰的兩個所述梁部的分離距離小。

8.一種物理量傳感器的制造方法，其特征在于，包括：

使用干蝕刻對基板形成圖案而形成元件部的工序，其中，所述元件部包括：驅(qū)動部；以及彈簧部，支承所述驅(qū)動部，所述彈簧部包括：多個梁部，長邊方向沿著與所述驅(qū)動部和所述彈簧部所排列的第一方向正交的第二方向；以及折回部，將所述多個梁部中的相鄰的兩個梁部的同一側(cè)的端部彼此連接；以及

在所述多個梁部中的至少一個梁部形成與其他梁部相比沿著第三方向的厚度薄的薄壁部的工序，所述第三方向與所述第一方向以及所述第二方向正交。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的物理量傳感器的制造方法，其特征在于，

在形成所述薄壁部的工序中，使用所述干蝕刻隔著掩模對所述彈簧部進行加工而形成所述薄壁部。

10.一種物理量傳感器設(shè)備，其特征在于，包括：

權(quán)利要求1所述的物理量傳感器；以及

與所述物理量傳感器電連接的電路元件。

11.一種電子設(shè)備，其特征在于，

包括權(quán)利要求1所述的物理量傳感器。

12.一種移動體，其特征在于，包括：

權(quán)利要求1所述的物理量傳感器；以及

基于從物理量傳感器輸出的檢測信號來控制姿勢的姿勢控制裝置。