[發明專利]靶材加工方法

在審

• 申請號: 201810366083.4
• 申請日: 2018-04-23
• 公開（公告）號: CN108543955A
• 公開（公告）日: 2018-09-18
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;魏小林
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B23B1/00
• 分類號: B23B1/00;B23B25/02;B23Q11/00
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 梁斌

本發明涉及機械加工技術領域，提供一種靶材加工方法。在該方法中，首先通過安裝在車床上的第一加工刀片在靶材的濺射面上車削出螺紋，然后通過安裝在車床上的第二加工刀片對螺紋進行粗車，以車削掉螺紋，最后通過安裝在車床上的第三加工刀片對螺紋進行精車，以使濺射面被加工為平整表面。可見，在上述加工步驟中，由于首先在濺射面上車削產生了螺紋，在此基礎上對濺射面進行進一步車削加工，廢屑將被分割為多個小部分，從而可以解決靶材加工過程中因廢屑不易斷開而引起的纏屑的問題，避免廢屑劃傷靶材的濺射面，改善濺射面的加工質量。

技術領域

本發明涉及機械加工領域，具體而言，涉及一種靶材加工方法。

背景技術

在靶材的加工過程中，靶材濺射面的光潔度是評價加工質量的重要指標，濺射面加工質量的優劣將直接影響靶材的建設性能，理想的濺射面為光潔的鏡面。然而，對于以高純度鋁為材料的靶材，由于高純度鋁在車削過程中不易發生斷屑，因此容易產生刀具纏屑的問題，大量的廢屑纏繞在刀具上可能劃傷靶材的濺射面，造成濺射面的光潔度下降，從而影響生產出來的靶材的濺射性能。

發明內容

有鑒于此，本發明實施例提供一種靶材加工方法，以解決上述技術問題。

本發明的實施例通過以下技術方案實現：

第一方面，本發明實施例提供一種靶材加工方法，包括：

通過安裝在車床上的第一加工刀片在靶材的濺射面上車削出螺紋；

通過安裝在車床上的第二加工刀片對螺紋進行粗車，以車削掉螺紋；

通過安裝在車床上的第三加工刀片對螺紋進行精車，以使濺射面被加工為平整表面。

可見，在上述加工步驟中，由于首先在濺射面上車削產生了螺紋，相當于將濺射面預先分割為多個等間隔的小區域，在此基礎上對濺射面進行進一步車削加工，廢屑也將被分割為多個小部分，從而可以解決廢屑纏屑的問題，避免廢屑劃傷靶材的濺射面，進而改善濺射面光潔度，提高靶材的加工質量。

結合第一方面，在第一方面的第一種可能的實施方式中，靶材的材料為高純度鋁，高純度鋁的純度為99％至99.9999％，高純度鋁在車削過程中不易發生斷屑，因此容易產生刀具纏屑的問題，因此在加工高純度鋁制成的靶材時十分適宜采用本發明實施例提供的靶材加工方法。

結合第一方面的第一種可能的實施方式，在第一方面的第二種可能的實施方式中，通過安裝在車床上的第一加工刀片在靶材的濺射面上車削出螺紋，包括：

通過第一加工刀片從濺射面的圓心向外車削出螺紋，螺紋以濺射面的圓心為中心在濺射面上呈環狀分布，呈環狀分布的螺紋不具有特定的方向性。

從而可以保證在后續對濺射面車削時，刀具沿任意方向進行車削都不會產生纏屑問題。

結合第一方面的第二種可能的實施方式，在第一方面的第三種可能的實施方式中，第二加工刀片一側設置有噴氣管，通過第二加工刀片對螺紋進行粗車，包括：

通過第二加工刀片對螺紋進行粗車，并在車削過程中通過噴氣管向第二加工刀片與濺射面的接觸位置噴氣。

通過噴氣，可以將車削過程中產生的廢屑及時吹走，避免劃傷濺射面。

結合第一方面的第三種可能的實施方式，在第一方面的第四種可能的實施方式中，第二加工刀片一側還設置有輸液管，通過第二加工刀片對螺紋進行粗車，并在車削過程中通過噴氣管向第二加工刀片與濺射面的接觸位置噴氣，包括：

通過第二加工刀片對螺紋進行粗車，并在車削過程中通過輸液管輸入揮發性液體，以及通過噴氣管向第二加工刀片與濺射面的接觸位置噴氣，以使揮發性液體被噴灑在第二加工刀片與濺射面的接觸位置。