[發(fā)明專利]靶材加工方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810366083.4 | 申請日： | 2018-04-23 |
| 公開（公告）號： | CN108543955A | 公開（公告）日： | 2018-09-18 |
| 發(fā)明（設計）人： | 姚力軍;潘杰;王學澤;魏小林 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B23B1/00 | 分類號： | B23B1/00;B23B25/02;B23Q11/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 梁斌 |
| 地址： | 315000 浙江省寧波*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 螺紋 車床 靶材加工 加工刀片 濺射面 車削 廢屑 濺射 靶材 機械加工技術 車削加工 加工步驟 平整表面 粗車 斷開 劃傷 精車 加工 分割 | ||
1.一種靶材加工方法，其特征在于，包括：
通過安裝在車床上的第一加工刀片在靶材的濺射面上車削出螺紋；
通過安裝在車床上的第二加工刀片對所述螺紋進行粗車，以車削掉所述螺紋；
通過安裝在車床上的第三加工刀片對所述螺紋進行精車，以使所述濺射面被加工為平整表面。
2.根據(jù)權利要求1所述的靶材加工方法，其特征在于，所述靶材的材料為高純度鋁，所述高純度鋁的純度為99％至99.9999％。
3.根據(jù)權利要求2所述的靶材加工方法，其特征在于，所述通過安裝在車床上的第一加工刀片在靶材的濺射面上車削出螺紋，包括：
通過所述第一加工刀片從所述濺射面的圓心向外車削出所述螺紋，所述螺紋以所述濺射面的圓心為中心在所述濺射面上呈環(huán)狀分布。
4.根據(jù)權利要求3所述的靶材加工方法，其特征在于，所述第二加工刀片一側設置有噴氣管，所述通過安裝在車床上的第二加工刀片對所述螺紋進行粗車，包括：
通過所述第二加工刀片對所述螺紋進行粗車，并在車削過程中通過所述噴氣管向所述第二加工刀片與所述濺射面的接觸位置噴氣。
5.根據(jù)權利要求4所述的靶材加工方法，其特征在于，所述第二加工刀片一側還設置有輸液管，所述通過所述第二加工刀片對所述螺紋進行粗車，并在車削過程中通過所述噴氣管向所述第二加工刀片與所述濺射面的接觸位置噴氣，包括：
通過所述第二加工刀片對所述螺紋進行粗車，并在車削過程中通過所述輸液管輸入揮發(fā)性液體，以及通過所述噴氣管向所述第二加工刀片與所述濺射面的接觸位置噴氣，以使所述揮發(fā)性液體被噴灑在所述第二加工刀片與所述濺射面的接觸位置。
6.根據(jù)權利要求5所述的靶材加工方法，其特征在于，所述揮發(fā)性液體為酒精。
7.根據(jù)權利要求1所述的靶材加工方法，其特征在于，所述通過安裝在車床上的第一加工刀片在靶材的濺射面上車削出螺紋，包括：
通過所述第一加工刀片對所述靶材的濺射面進行三次粗車，以車削出所述螺紋。
8.根據(jù)權利要求1－7中任一權項所述的靶材加工方法，其特征在于，所述通過安裝在車床上的第三加工刀片對所述螺紋進行精車，以使所述濺射面被加工為平整表面之后，所述方法還包括：
對所述濺射面進行清潔，以使所述濺射面的光潔度達到鏡面標準。
9.根據(jù)權利要求8所述的靶材加工方法，其特征在于，所述對所述濺射面進行清潔，包括：
通過凈化布擦拭所述濺射面。
10.根據(jù)權利要求8所述的靶材加工方法，其特征在于，所述第一加工刀片為硬質(zhì)螺紋刀片，所述第二加工刀片以及所述第三加工刀片均為金剛石刀片。
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