[發明專利]薄膜表面的缺陷檢測裝置在審
申請號: | 201810365670.1 | 申請日: | 2018-04-23 |
公開(公告)號: | CN108872261A | 公開(公告)日: | 2018-11-23 |
發明(設計)人: | 金潤赫 | 申請(專利權)人: | HB技術有限公司 |
主分類號: | G01N21/95 | 分類號: | G01N21/95 |
代理公司: | 北京冠和權律師事務所 11399 | 代理人: | 朱健;張國香 |
地址: | 韓國忠清*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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摘要: | |||
搜索關鍵詞: | 薄膜表面 圖案獲取 照明部 中心軸 入射 缺陷檢測裝置 圖案 測量物表面 檢測測量 檢測裝置 缺陷檢測 檢測 分析 | ||
本發明是檢測測量物表面的缺陷的檢測裝置,涉及一種薄膜表面的缺陷檢測裝,通過生成光并將所述生成的光向所述測量物表面入射的照明部和獲取通過所述入射的光而生成的圖案的圖案獲取部分析所述獲取的圖案,檢測薄膜表面的缺陷,并且,所述照明部的中心軸與所述圖案獲取部的中心軸一致。
技術領域
本發明涉及薄膜表面的缺陷檢測裝置,尤其,涉及一種向檢測對象的測量物照射傾斜照明,以便檢測在所述測量物的表面生成的缺陷的薄膜表面的缺陷檢測裝置。
背景技術
一般而言,在要測量的物體的薄膜表面發生的缺陷的種類有突出、凹陷、刮痕等,以往為了確認上述的缺陷使用了各種缺陷檢測系統。
上述的檢測系統為了檢測缺陷,在檢測裝置安裝環形照明,從各種角度向物體的表面照射光,以測量缺陷。
但,上述的所述缺陷檢測可適用于尺寸較大的測量物的,而尺寸較小的測量物,無法安裝所述環形照明,而無法使用所述環形照明。
并且,對于表面形成較低的傾斜角度,由垂直方向入射光線的通常的同軸光學系技術無法檢測所述缺陷。
先行技術文獻
專利文獻
(專利文獻1)韓國公開專利公報公開號第10-2007-0024393號
發明的內容
發明要解決的技術問題
為了解決上述的問題,本發明提供一種替代用于測量較大尺寸的測量物的薄膜表面的缺陷的環形照明,而具有與所述環形照明相同的效果的照明。
從而,本發明提供一種檢測測量物表面的缺陷的檢測裝置,其通過生成光并將所述生成的光向測量物表面入射的照明部和獲取通過所述入射的光生成的圖案的圖案獲取部而分析獲取的圖案,檢測薄膜表面的缺陷,并且,在所述照明部與所述測量物之間,安裝將由所述照明部生成的光進行分離的光分離部,以使由所述照明部生成的光向所述測量物表面入射時能夠傾斜地入射,由此,使得從各種角度入射傾斜光,而能夠看清所述測量物的缺陷。
但,本發明的目的并非局限于上述涉及的目的,本發明的技術領域的技術人員應當理解未涉及的其他目的。
解決問題的技術方案
為了實現上述目的,本發明作為檢測測量物表面的缺陷的檢測裝置,通過生成光并將所述生成的光向所述測量物表面入射的照明部和獲取通過所述入射的光而生成的圖案的圖案獲取部分析所述獲取的圖案,檢測薄膜表面的缺陷,并且,在所述測量物的上部形成有物鏡。
此時,通過所述圖案獲取部的中心及所述物鏡的中心的垂直中心軸與通過所述照明部的中心的水平中心軸在所述圖案獲取部與所述物鏡之間相遇,還形成有通過所述水平中心軸與所述垂直中心軸相遇的地點而使得反射面傾斜45°地配置的分束器,由所述照明部生成的光通過所述分束器反射,向所述測量物的表面入射,從所述測量物反射的光透過所述分束器向所述圖案獲取部入射。
并且,在所述照明部與所述測量物之間形成有光分離部,其將由所述照明部生成的光進行分離,使得由所述照明部生成的光向所述測量物表面入射時能夠傾斜地入射。
此時,所述光分離部由圓形狹縫片形成,所述圓形狹縫片的中心軸與所述照明部的中心軸一致。
并且,在所述圓形狹縫片形成有使得所述照明部的光通過的光通過部,并且,所述光通過部形成于以所述圓形狹縫片的中心軸為基準形成的外周面與內周面之間,所述內周面的內側和所述外周面的外側形成堵塞的結構。
并且,通過所述光通過部的光的波前形成具有內周面和外周面的甜甜圈形狀,所述甜甜圈形狀的光通過物鏡向所述測量物的表面入射時,具有所述甜甜圈形狀的光的內周面和外周面的直徑逐漸變小入射,而使得所述甜甜圈形狀的光的成像傾斜地向測量物的表面入射。
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