[發明專利]薄膜表面的缺陷檢測裝置在審
| 申請號： | 201810365670.1 | 申請日： | 2018-04-23 |
| 公開（公告）號： | CN108872261A | 公開（公告）日： | 2018-11-23 |
| 發明（設計）人： | 金潤赫 | 申請（專利權）人： | HB技術有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/95 | 分類號： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京冠和權律師事務所 11399 | 代理人： | 朱健;張國香 |
| 地址： | 韓國忠清*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜表面 圖案獲取 照明部 中心軸 入射 缺陷檢測裝置 圖案 測量物表面 檢測測量 檢測裝置 缺陷檢測 檢測 分析 | ||
1.一種薄膜表面的缺陷檢測裝置，作為檢測測量物表面的缺陷的檢測裝置，其特征在于，
通過生成光并將所述生成的光向所述測量物表面入射的照明部和獲取通過所述入射的光而生成的圖案的圖案獲取部分析所述獲取的圖案，檢測薄膜表面的缺陷，
并且，在所述測量物的上部形成有物鏡。
2.根據權利要求1所述的薄膜表面的缺陷檢測裝置，其特征在于，
通過所述圖案獲取部的中心及所述物鏡的中心的垂直中心軸與通過所述照明部的中心的水平中心軸在所述圖案獲取部與所述物鏡之間相遇，
還形成有通過所述水平中心軸與所述垂直中心軸相遇的地點而使得反射面傾斜45°地配置的分束器，
由所述照明部生成的光通過所述分束器反射，向所述測量物的表面入射，
從所述測量物反射的光透過所述分束器向所述圖案獲取部入射。
3.根據權利要求1所述的薄膜表面的缺陷檢測裝置，其特征在于，
在所述照明部與所述測量物之間形成有光分離部，其將由所述照明部生成的光進行分離，使得由所述照明部生成的光向所述測量物表面入射時能夠傾斜地入射。
4.根據權利要求3所述的薄膜表面的缺陷檢測裝置，其特征在于，
所述光分離部由圓形狹縫片形成，所述圓形狹縫片的中心軸與所述照明部的中心軸一致。
5.根據權利要求4所述的薄膜表面的缺陷檢測裝置，其特征在于，
在所述圓形狹縫片形成有使得所述照明部的光通過的光通過部，
并且，所述光通過部形成于以所述圓形狹縫片的中心軸為基準形成的外周面與內周面之間，所述內周面的內側和所述外周面的外側形成堵塞的結構。
6.根據權利要去1至5所述的薄膜表面的缺陷檢測裝置，其特征在于，
在所述測量物與所述圖案獲取部之間配置有光圈，
所述光圈能夠調整使得光通過的光圈口徑。
7.根據權利要求1所述的薄膜表面的缺陷檢測裝置，其特征在于，
所述照明部由光源和照明透鏡形成，
所述圖案獲取部由攝像頭和成像透鏡形成。
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